판매용 중고 RECIF SWE6M #190998

RECIF SWE6M은 웨이퍼 정렬 및 고효율 처리를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 200mm/s의 속도로 웨이퍼 매핑, 정렬 및 처리 작업을 수행합니다. 200 mm ~ 125 mm 범위의 다양한 크기의 웨이퍼를 가져 갈 수 있습니다. 로봇은 0.5um의 해상도와 0.3um의 반복 성을 가진 매우 정밀한 3 축 단계를 특징으로합니다. 가위 리프트 (scissor lift) 와 XYZ 스테이지 (XYZ stage) 를 조합하여이 로봇은 웨이퍼 처리 작업에 큰 유연성과 정확성을 제공합니다. SWE6M에는 고속 재료 운송에서 정확한 세밀한 곡물 처리 (fine-grain handling) 에 이르기까지 다양한 작업에 적합한 6 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 팔은 완전히 프로그래밍 가능하며 웨이퍼 손상을 방지하기위한 안전 경비원 (Safety Guard) 이 포함되어 있습니다. 또한 깨끗하고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 고온 단계 (최대 140 ° C) 에 강합니다. 이 로봇은 속도와 정밀성을 위해 설계되었을 뿐만 아니라, 다양한 유형의 프로세스를 나타낼 수 있는 직관적이고 사용자 친화적인 LED (LED) 표시등을 갖추고 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스로, 로봇의 운영 및 유지 관리를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 기존의 다른 시스템 및 모듈과 완벽하게 통합할 수 있습니다. RECIF SWE6M에는 웨이퍼 처리에 이상적인 다양한 추가 기능이 있습니다. 여기에는 웨이퍼 배치 로드 및 언로드를 최적화하는 자동 로드 메커니즘이 포함됩니다. 처리되기를 기다리는 동안 웨이퍼 저장을위한 검색 시스템; 그리고 오류에 대한 웨이퍼 특성을 확인할 수있는 비전 시스템. 또한, 더 나은 결정을 내리기 위해 추적 가능성 (Traceability) 및 확장 통계 (Extended Statistics) 와 같은 고급 기능도 제공합니다. SWE6M은 최적의 웨이퍼 정렬 및 처리 작업을 용이하게하도록 설계되었습니다. 고속 3 축 스테이지와 6 축 로봇 암을 사용하면 웨이퍼 처리 작업에 대한 전례없는 정확성과 유연성을 달성 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스와 모듈식 (modular) 설계를 통해 모든 설비 (facility) 에 적합한 제품으로, 정렬 및 처리 프로세스를 보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다.