판매용 중고 RECIF SPP8 #9050094
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ID: 9050094
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Wafer transfer systems, 8"
Tabletop
Vacuum-Free Horizontal Transfers
Transfers with Mono Transfer Finger
Automated Mapping of the Wafers within the Cassette
Wafers are Handled by a Minimal Linear Contact on the Rear Side of the Wafer
Pre-programmed Automated Transfer Options: Split, Merge, Compression, Randomization and Block Wafer Transfers
Continuous Wafer Status/Position Monitoring by Optical Sensors throughout the cycle
Compatible with most SEMI Standard Cassettes
RS232 Port; SUBD25 Port
1996 vintage.
RECIF SPP8은 RECIF Technologies의 최신 웨이퍼 핸들러 모델입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 최대 8 개의 2 인치 (50mm) 웨이퍼를 고급, 효율적이고 정확한 선택, 정렬 및 추적할 수 있습니다. 핸들러의 면적은 429 x 428 mm이고 치수는 1142mm (L) X 608mm (W) X 359mm (H) 입니다. SPP8의 중심에는 고급 6 축 로봇 메커니즘이 있습니다. 이 메커니즘은 다양한 두께의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 그것 에는 시력 장비 와 "웨이퍼 '" 프레임' 을 정확 하게 정렬 하고 처리 할 수 있는 흡입 "컵 '장치 가 포함 된다. 시각 장치에는 카메라와 조명기 (Lighting Machine) 2 대, 웨이퍼 위치를 감지하고 확인하는 비전 프로세서 (Vision Processor) 가 있습니다. 흡입 컵 (suction cup) 은 3 상 스테퍼 모터를 사용하여 구동되며, 웨이퍼의 두께에 따라 위치를 조정할 수 있습니다. 다른 기능으로는 통합 프로세스 모니터, 디지털 제어 인터페이스, 소프트웨어 기반 사용자 인터페이스 등이 있습니다. 통합 프로세스 모니터는 각 프로세스 동안 중요한 매개변수 (예: 진공 수준, 온도 기록) 를 등록합니다. 또한 온도, 대기압, 진동, 현재 수준 및 프레임 두께에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. 디지털 제어 인터페이스 (Digital Control Interface) 는 wafer-handling 매개변수와 로봇 메커니즘을 제어하는 데 필요한 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 통합 온라인 설치 프로세스를 통해 wafer-handling 매개변수를 신속하게 수정하고 최적화할 수 있는 실시간 피드백을 제공합니다. 사용자 인터페이스에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있으며, 터치스크린과 직관적인 메뉴가 있습니다. 즉, 프로세스 내의 모든 기능 또는 기능을 쉽고 빠르게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 연산자가 제어 중인 프로세스의 매개변수를 빠르게 수정할 수 있습니다. RECIF SPP8은 반도체 산업을 위해 특별히 설계되었으며 사이클 당 최대 8 개의 2 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 고급 소재 (High-Grade Material) 로 만들어져 우수한 성능으로 극단적 인 환경 조건을 처리 할 수 있습니다. 고급 로봇, 전용 비전 및 디지털 컨트롤의 조합으로 정확하고, 정확하며, 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 작업이 가능합니다.
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