판매용 중고 RECIF SIS300F35 #9194928

RECIF SIS300F35는 산업용으로 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체, 디스크, 평면 패널 디스플레이 (FPD), 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 및 전면 개방 통합 포드 (FOUP) 및 나노 척 컨테이너에서 광학 부품 웨이퍼를 로드, 언로드 및 전송 할 수 있습니다. SIS300F35는 3 축 웨이퍼 핸들러로, 로봇 암은 FOUP 또는 나노 척 (Nanochuck) 컨테이너에서 x, y 및 Z축을 가로 질러 기계적으로 웨이퍼 슬레드를 대상 위치로 이동합니다. 안전하고 정확한 처리를 위해 로봇 암의 보드 레벨 컨트롤러에는 높은 정확도 인코더, 토크 컨트롤 (torque control), 비상 정지 (emergency stop) 스위치가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 썰매 및 웨이퍼 카세트의 무게는 1kg에서 4kg 사이입니다. 또한 운송 중 정렬을위한 샘플 옵틱 (optics) 기능과 캐리어 및 웨이퍼 구성 가능한 클램핑이 특징입니다. USB 포트는 진단 도구 (Diagnostic Tool) 또는 업그레이드 파일이 있는 메모리 스틱 (Memory stick) 을 연결할 수 있습니다. 이는 사용자가 원격 모니터링을 위해 외부 데이터 스위치 (external data switch) 를 연결할 수 있도록 다른 포트에 의해 보완됩니다. RECIF SIS300F35 (RECIF SIS300F35) 에는 터치스크린과 텍스트 기반 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 자신의 프로그램을 처리할 수 있는 간단한 방법을 제공합니다. 내장 데이터베이스는 최대 500 개의 레시피를 저장합니다. 여기에는 지정된 환경 내에서 웨이퍼 처리에 대한 자세한 지침이 들어 있습니다. 또한 SIS300F35는 Pinpoint, SPEEDbus, ICOS 등의 프로토콜을 지원하므로 동일한 시스템의 다른 주변 장치에 연결할 수 있습니다. RECIF SIS300F35는 웨이퍼 처리 속도와 안전의 최적의 균형을 제공합니다. 지능형 웨이퍼 전송 큐 (Wafer Transfer Queue) 시스템을 사용하면 여러 웨이퍼를 한 번에 처리할 수 있으며, 안전한 거리를 유지하고 프로세스 전반에 걸쳐 간격을 유지할 수 있습니다. 와퍼 슬레드 (wafer sled) 와 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 가 서로 접근할 때, 특히 언로드 및 로딩 중에 광학 탐지 시스템이 활성화되어 잘못된 정렬이 수정되고 부품이 올바르게 처리됩니다. 마지막으로 SIS300F35는 표준 Horizontal (H) 및 Vertical (V) 구성으로 제공되므로 서로 다른 자동화 요구 사항에 적합합니다.