판매용 중고 RECIF R2D Comet #191003
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RECIF R2D 혜성 (RECIF R2D Comet) 은 생산 라인에서 다른 도구 사이에 실리콘 웨이퍼를 정확하고 정확하게 전송하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 이 머신은 다양한 프로세스 툴 및 기기와 직접 연결되며, 안정적이고, 정확하며, 통합하기 쉬운 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. R2D Comet의 주요 기능: 최대 300mm 웨이퍼 처리 기능 도구로부터 공구로의 고정밀 전송 정밀 정렬 섹션이있는 공기 로드 포트 진공 척 (Vacuum chuck) - 로드 중 정밀 픽업 로보틱 암 (Robotic Arm) 을 위한 외부 전력 통합 Wafer RPO (Transfer Closed Position) 를 위한 외부 전력 통합 관리 로깅 시스템 정밀 관리 로깅 로우밍 로킹 로우밍 시스템 혜성 (Comet) 은 생산 공정에서 다른 도구 간에 깨끗하고 정확한 웨이퍼 전송을 제공하므로 수율 (Youtd Quality) 과 제품 처리량을 향상시킵니다. 최대 300mm 웨이퍼를 처리할 수 있으므로 처리량이 많은 프로세스에 적합합니다. R2D 혜성 (R2D Comet) 에 포함 된 공기 하중 포트는 이동 중에 웨이퍼를 정확하게 정렬하고, 로봇 암 (robotic arm) 과 진공 척 (vacuum chuck) 은 웨이퍼의 정확한 방향과 픽업을 가능하게합니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 "로봇 '암 위치 를 정밀 하게 제어 하는 폐쇄 루프'" 시스템 '을 갖추고 있어서, 이동 중 에 항상 "웨이퍼' 를 안전 하게 보관 한다. 또한, RECIF R2D Comet은 외부 장비 (예: 센서, 스캐너, 검사 도구) 를 쉽게 통합할 수 있는 개방형 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이것은 기계를 광범위한 생산 라인에 대한 매우 다용도, 유연한 솔루션으로 만듭니다. 마지막으로, 기계의 낮은 전력 소비량 (power consumption) 은 전기가 제한된 생산 환경에서 편리하게 사용할 수 있음을 의미합니다. 전반적으로 R2D 혜성 (R2D Comet) 은 생산 라인에서 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리 작업을 위한 탁월한 선택입니다. 최대 300mm 와퍼를 처리할 수 있는 고정밀 전송 (high-precision transfer) 기능과 더불어 높은 처리량 (high-throughput) 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다. 또한, 이 기계의 개방형 아키텍처 (open architecture of the machine) 는 외부 장비의 통합을 허용하는 반면, 저전력 소비는 전기 제한에 도전하지 않고 사용할 수 있도록 보장합니다.
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