판매용 중고 RECIF MGI ALI6 #191000

RECIF MGI ALI6 웨이퍼 핸들러는 고급 재료 연구 및 반도체 생산을 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고성능 웨이퍼 처리 로봇 (wafer-handling robot) 과 통합 웨이퍼 처리 서브시스템 (wafer-handling subsystem) 으로 구성되어 있으며, 다양한 재료 공정에서 완벽한 유연성과 반복성을 제공합니다. ALI6에는 총 650mm, 전체 360도 액세스 범위의 듀얼 암 고속 관절 로봇이 포함되어 있습니다. 최대 속도 4700 mm/s2, 위치 정밀도 0.1 mm이며 열린 루프 토크 제어가 가능합니다. 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 운반 할 수 있으며, 웨이퍼 당 3.2kg의 빈 무게가 있습니다. "로봇 '의 높은 정밀도 와 반복성 은" 웨이퍼' 를 공정 "챔버 '위 에 정확 하게 배치 하여 최적 의 공정 결과 를 얻는다. 웨이퍼 처리 하위 시스템에는 웨이퍼 방향, 리프팅, 클리닝 기능, 소프트웨어 제어 온도 제어 장치 등의 기능이 통합되어 있습니다. 이는 원하는 설정점의 +/- 0.5 ° C 내에서 정확하고 반복 가능한 온도 제어를 위해 설계되었습니다. 이 기계는 320mm, 200mm 및 150mm 직경의 웨이퍼로 작동하며 스텝 및 웨이퍼 이동을 반복 할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 하위 시스템의 최고 속도는 0.9m/s, 최대 가속도는 1G입니다. MGI ALI6 (MGI ALI6) 은 혁신적이고 자동화된 웨이퍼 처리 툴로서, 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고유한 기능의 조합입니다. 고성능 플랫폼 (HPP) 을 제공하여 광범위한 자재 처리 및 생산 작업을 지원하며, 매번 재현 가능한 결과를 제공합니다. 통합 웨이퍼 처리 (Integrated Wafer Handling) 서브시스템은 짧은 주기에 최적화되어 처리량이 향상되도록 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다.