판매용 중고 RECIF IDLW6MR #9174912

RECIF IDLW6MR은 반도체 제조 시설에서 300mm 웨이퍼의 자동 처리를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러 장비입니다. 이 고성능 시스템은 높은 수준의 정확도를 유지하면서 프로세스 제어 및 처리량을 향상시킵니다. IDLW6MR 웨이퍼 핸들러는 업계의 반도체 프로세스 표준을 충족하고 초과하도록 설계되었습니다. 최대 300mm 웨이퍼를 처리하기위한 6 개의 독립적 인 회전 목마가 포함 된 모듈 식 디자인이 특징입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 최대 1.7mm의 6 인치 피치와 최대 2.7mm의 10 인치 피치를 가지고 있습니다. 또한 웨이퍼를 쉽게 적재 및 언로드 할 수있는 팔레트 스테이션 (Pallet Station) 과 유지 보수 목적으로 선택적인 받침대 스테이션 (Pedestal Station) 도 포함됩니다. 중앙 컨트롤러 장치는 고급 기능을 위해 프로그래밍 제어 및 여러 옵션을 제공합니다. 또한 단일 트랙 및 이중 트랙 로봇 및 단일 트랙 컨베이어를 지원합니다. RECIF IDLW6MR 웨이퍼 핸들러에는 고정밀 Loader/Unloader (LU) 및 웨이퍼 전송을위한 장치 스테이지가 장착되어 있습니다. LU에는 웨이퍼를 5 인치 또는 300mm 카세트로 적재 및 언로드하기위한 4 축 로봇 유닛, 3 개의 진공 암 및 3 개의 와이퍼가 있습니다. 반면, 장치 단계는 프로세스 챔버 (process chamber) 로드 속도를 높이고 처리량을 최대화하도록 설계되었습니다. 센서 기반 로드/언로드 및 Chamber와 LU 간의 자동 전송 메커니즘을 제공합니다. IDLW6MR 웨이퍼 핸들러에는 상단 및 하단 이중 팔 정렬을 포함한 고급 웨이퍼 정렬 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 현장 모니터링을위한 센서를 통합하여 웨이퍼 (wafer) 및 공구 상태의 실시간 데이터를 제공합니다. 한편, 통합 터치 스크린 운영자 인터페이스를 통해 조정 된 제어 및 프로세스 매개변수 입력이 가능합니다. RECIF IDLW6MR 웨이퍼 핸들러는 반전 방지 스위치, 온도 조절 히터, 8 포인트 전기 연동 자산 등 다양한 안전 기능을 통해 사용 편의성과 안정성을 위해 설계되었습니다. 또한, 모듈식 설계를 통해 다양한 어플리케이션에 빠르고 효율적으로 적응할 수 있습니다. 가장 까다로운 반도체 제조 환경에서 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다.