판매용 중고 QMC LES-3500 #9098093

QMC LES-3500은 다양한 반도체 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. LES-3500은 공정 장비, 로드 잠금 (load lock) 및 로드 스테이션 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동하기 위해 진공 픽업 도구를 갖춘 고정밀, 전동식 단계를 사용합니다. 핸들러는 50mm ~ 300mm의 웨이퍼 크기를 지원하며 최대 250mm/sec의 간트리 속도 (Gantry speed) 와 1.0 äm의 고정밀 반복성을 가지고 있으며, 높은 정확도로 대규모 생산을 가능하게합니다. 이 시스템은 직관적인 X/Y/Y (회전 축) 와 회전 스테이지 메커니즘을 사용하여 유연하고 쉽게 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 빠르게 설정하고 변경할 수 있습니다. 또한 '제로 스테이지 리셋 (Zero Stage Reset)' 기능을 통해 조정이 끝나면 사용자가 신속하게 정확하게 스테이지를 재설정할 수 있습니다. QMC LES-3500은 견고한 재료로 제작되어 탁월한 내구성과 장기적인 안정성을 보장합니다. 낮은 관성 스테이지 모터와 고정밀, 직접 구동 볼 (direct-drive ball) 나사는 모든 이동 방향으로 부드럽고 안정적인 동작을 보장합니다. 또한 견고한 알루미늄 프레임 (aluminum frame) 을 갖추고 있으며, 스테이지의 견고한 기반을 제공하고 장기적인 정확성과 안정성을 보장하는 데 더 도움이됩니다. 이 시스템은 사용자 친화적 인 소프트웨어, 수많은 안전 기능, 온보드 환경 모니터링 시스템 (On- Board Environmental Monitoring System) 을 통해 손쉽게 통합 및 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어는 일련의 명령 버스트 (command burst) 기능과 디지털 I/O 및 이더넷 통신을 지원하므로 다양한 프로세스 장비와 호환됩니다. "와퍼 (wafer) '는 고온 환경에서도 안전하고 안전한 방식으로 처리할 수 있도록 다양한 센서 (sensor) 와 경보를 갖추고 있다. 전체적으로, LES-3500은 생산 라인에서 반도체 웨이퍼를 처리 및 운송하기 위한, 정확하고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 유연성, 강력한 기능과 결합된 직관적인 설계와 견고한 구조 (Struction Construction) 는 광범위한 반도체 제작 및 제작 관련 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.