판매용 중고 PROMICON SYSTEMS PTM-9265-M #9225146

PROMICON SYSTEMS PTM-9265-M
ID: 9225146
SCARA Robot.
PROMICON SYSTEMS PTM-9265-M은 반도체 처리 응용 프로그램에서 웨이퍼의 정밀 조작을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 150mm, 200mm 및 300mm와 같은 대형 웨이퍼 크기를 처리하면서 정확한 미크론 수준의 정확성과 반복 성을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. "핸들러 '는 견고 하고 믿을 만한 수송 장비 를 갖추었는데, 이 장비 는" 웨이퍼' 를 한 공정 "스테이션 '으로부터 최소한의 유지 보수 를 통해 효율적 으로 옮길 수 있다. PTM-9265-M 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 크기를 50mm에서 300mm로 보호 할 수있는 고급 기술 처킹 (chucking) 시스템이 장착되어 있습니다. 커다란 "웨이퍼 '크기 를 감싸서 높은 정확도 와 반복성 으로 조작 할 수 있도록 하는 것 이 특히 효과적 이다. 핸들러 (Handler) 의 독점 처킹 장치 (Chucking Unit) 는 고급 IC 생산에 사용되는 박막 (Thin Film) 의 압력을 최소화하여 웨이퍼와 그 기능에 손상이 없습니다. 또한 직관적 인 소프트웨어 머신 (Software Machine) 을 통해 전문 교육이 필요 없이 작업을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 정확한 3 차원 벡터링 (vectoring) 을 제공하도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 고급 궤적 및 모션 컨트롤로 프로그램을 작성할 수 있습니다. 또한 wafer transport 프로세스를 모니터링 및 문서화하고 통계 프로세스 제어를 통해 피드백을 제공하는 데 사용할 수 있습니다. 사용자와 웨이퍼의 안전성을 높이기 위해 PROMICON SYSTEMS PTM-9265-M 웨이퍼 핸들러에는 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 핸들러에 인터록 (Interlock) 도구가 있습니다. 이 도구는 사용자가 오른쪽 슬롯에 없는 경우 자동으로 웨이퍼 (wafer) 를 선택하는 것을 방지합니다. 또한, 핸들러에는 안전 스위치 (safety switch) 가 있는 액세스 도어 (access door) 가 있어 사용자가 도어를 열 때 웨이퍼 슬롯에 액세스하지 못하도록 합니다. 전반적으로, PTM-9265-M은 사용자에게 반도체 생산을 위해 고급 재료 처리를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 직관적인 소프트웨어 자산은 운영자에게 정확한 제어 및 모니터링을 제공하는 반면, 인터 록 (interlock) 및 안전 스위치 (safety switch) 기능은 안전성을 높이고 웨이퍼를 손상으로부터 보호합니다.
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