판매용 중고 PRO CABIN 667 #9148224

PRO CABIN 667 (PRO CABIN 667) 은 제어 환경에서 기판을 관리하고 처리하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 667 (667) 에는 통합 벨로우가있는 견고한 금속 주택이 있으며, 작동 중에도 향상된 오염 격리 및 환경 보호 기능을 제공합니다. 장치 내에서, 모터 구동 전사 암은 3 개의 주요 구역을 가로 질러 기판을 정확하게 움직인다; 입력, 프로세스 및 출력입니다. 이러한 각 영역에는 기판을 정확하게 로드하고 언로드하도록 설계된 개별적으로 조절 가능한 클러스터가 있습니다. 이 장치는 독립 컨트롤러 (Independent Controller) 로 구동되며, 장비 설정 및 관리를 위한 사용이 간편한 인터페이스를 제공합니다. 또한 진단 보고 (Diagnostic Reporting) 기능을 통해 오류를 쉽게 파악하고 신속하게 오작동을 해결할 수 있습니다. 개방형 통신 프로토콜을 사용하면 데이터 스토리지, 바코드 판독기 등 외부 장치와 손쉽게 통합, 호환됩니다. PRO CABIN 667에는 최적의 기판 처리 및 처리에 맞게 조정 할 수있는 다목적 리프트가 장착되어 있습니다. 리프트는 전송 및 처리 중 기판의 위치를 정확하게 제어 할 수있는 2 단 서보 모터 (servo motor) 에 의해 구동됩니다. 또한, 리프트는 웨이퍼, 세라믹 표본, 다이, 어셈블리 구성 요소를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 혁신적인 "클린 바이 패스 (Clean Bypass)" 시스템을 갖추고 있으며, 각 개별 배치를 수동으로 청소하지 않고도 깨끗한 기판을 일괄 처리 할 수 있습니다. 또한 바이 패스 (bypass) 장치는 주기 시간을 줄여 출력 처리를 늘릴 수 있습니다. 또한, 667은 광범위한 온도에서 기판을 자동으로 처리 할 수 있습니다. 실온에서 최대 섭씨 350도까지. 내장 온도 조절 머신은 온도 균일성 (temperity uniformity) 과 정확성 (accuracity) 을 모두 보장하며 외부 열전대 또는 프로브가 필요하지 않습니다. 이 도구에는 다양한 센서링 (sensoring) 및 피드백 (feedback) 옵션이 장착되어 있어 프로세스 제어가 매우 정확합니다. 전반적으로 PRO CABIN 667은 제어되고 효율적인 방식으로 기판을 관리하고 처리하기 위한 완벽한 솔루션입니다. 견고한 금속 주택, 정밀 모터 구동 전송 암 (Precision Motor Driven Transfer Arm), 사용하기 쉬운 인터페이스 및 내장 온도 제어 자산은 까다로운 환경에서도 최적의 성능을 보장합니다.