판매용 중고 PRI / EQUIPE WT 405 #121478
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PRI/EQUIPE WT 405 웨이퍼 핸들러는 얇은 반도체 웨이퍼를 처리하기위한 다용도 및 효율적인 도구입니다. 이 자동화된 장비는 얇은 연약한 웨이퍼를 안전하고, 효율적이며, 정확한 방법으로 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 웨이퍼를 회전시키고 웨이퍼 보트 (wafer boats) 나 로드 포트 (load port) 에 배치 할 수 있습니다. PRI WT 405에는 얇은 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수있는 3 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 로봇 암은 2 개의 회전 축을 사용합니다. 하나는 웨이퍼를 위아래로, 다른 하나는 웨이퍼를 왼쪽에서 오른쪽으로 이동합니다. 또한 속도 조절 메커니즘 (Speed Control Mechanism) 을 통해 최소한의 노력으로 웨이퍼를 보트 또는 로드 포트에 정확하게 배치 할 수 있습니다. EQUIPE WT 405에는 우발적 인 웨이퍼 손상 또는 파손을 방지하기위한 안전 기능도 있습니다. 내장형 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 를 통해 시스템이 장애물을 감지하고, 운송 중 웨이퍼가 손상되지 않도록 하며, 장치가 문제를 감지할 경우 사용할 수 있는 2 개의 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있습니다. 그 에 더하여, 기계 에는 "로봇 '암 이 작동 할 때 깜박이는" 시그널 램프' 가 장착 되어 있어서, 연산자 들 은 그 작동 을 인식 할 수 있다. WT 405 웨이퍼 핸들러는 직경이 2 "~ 12" 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 10K wafer-handling (웨이퍼 처리) 및 Storage System (스토리지 시스템) 과 함께 사용할 수 있으므로 Wafer 를 안전하게 저장하고 필요한 경우 Wafer 핸들러로 신속하게 전송할 수 있습니다. 공구의 효율성은 잠망경 모니터링 (periscope monitoring) 자산의 통합으로 향상되었습니다. 이 모델을 통해 운영자는 보트에 있는 동안 웨이퍼 (wafer) 를 검사하고 조작할 수 있습니다. 보트에서 수동으로 검사하거나 제거하지 않아도 되므로 잠재적 인 파손을 피할 수 있습니다. PRI/EQUIPE WT 405는 안전, 정확도 및 효율성을 결합하며 반도체 생산에서 웨이퍼 처리에 이상적인 선택입니다. 그것 의 설계 는 더 얇은 "웨이퍼 '를 손상 시키지 않고 처리 할 수 있으며, 각" 보우트' 에 정확 하게 "웨이퍼 '를 놓거나" 포트' 를 적재 할 수 있도록 계산 할 수 있다.
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