판매용 중고 PRI / EQUIPE PRE-200 #168048

PRI/EQUIPE PRE-200은 특수 반도체 제작 연구소의 요구를 충족하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 융통성 있고 다재다능한 장치로, 리소그래피, 표면 처리, 에칭 등 다양한 웨이퍼 (wafer) 공정을 제공할 수 있습니다. PRI PRE-200은 고급 트리플 척 (triple chuck) 기술을 사용하여 최대 3 개의 웨이퍼를 동시에 로드하고 처리 할 수 있습니다. 또한 직경 200 mm, 두께 0.25 mm의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. EQUIPE PRE-200에는 정확한 웨이퍼 배치 및 처리를 위해 단일 축 웨이퍼 정렬기가 장착되어 있습니다. 또한 통합 프로세스 제어 장치 (integrated process control unit) 를 사용하면 온도, 압력, 공기 흐름과 같은 매개변수를 안정적이고 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리 중에 원하는 결과가 생성됩니다. 또한, PRE-200 은 오염을 최소화하고 깨끗하고 안전한 작업 환경을 보장하는 지능형 청소 장비를 갖추고 있습니다. PRI/EQUIPE PRE-200은 또한 강력한 사용자 인터페이스를 제공하여 쉽게 작동할 수 있습니다. 이 사용자 인터페이스를 사용하면 배치 처리, 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 조깅 등의 옵션을 선택할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 트리플 척 (triple chuck) 피더가 장착되어 있어 사용자가 도구에서 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 따라서 실행 중간의 다운타임이 줄어들고 전반적인 효율성이 향상됩니다. 안전성을 높이기 위해 PRI PRE-200에는 POST (Power-On Self Test) 시스템이 장착되어 있어 컴퓨터의 무결성을 확인하고 안정적인 작동을 보장합니다. 또한 시스템의 진단/오류 보고 (diagnostic and error reporting) 기능을 통해 모든 장치 문제를 신속하게 해결하고 파악할 수 있습니다. 또한, EQUIPE PRE-200은 에폭시 캡슐화 된 설계를 갖추고 있으며, 먼지, 입자 및 오염에 매우 강합니다. 결론적으로, PRE-200은 특수 반도체 제작 실험실의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다용도, 신뢰성, 안전한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 트리플 척 피더 (triple chuck feeder), 프로세스 제어 장치 (process control unit), 지능형 클리닝 장치, 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한 수많은 안전 시스템 (Safety System) 을 장착하여 안정적인 운영을 보장하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다.