판매용 중고 PRI / EQUIPE PRE-200-CE #9304435

PRI/EQUIPE PRE-200-CE 웨이퍼 핸들러는 프로세스와 처리 장치 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동하도록 설계된 반자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 8 인치 및 12 인치 웨이퍼용으로 특별히 설계되었으며, 다양한 도구 간에 자동 조립 또는 웨이퍼 전송에 이상적입니다. PRI PRE-200-CE 웨이퍼 핸들러는 2 개의 드라이브 모터가 장착 된 기계식 카트 베이스를 통해 연결된 2 개의 로봇 암으로 구성됩니다. 각 "로봇 '암 은" 카세트' 에서 "웨이퍼 '를 뽑아 취급 장치 로 옮긴 다음" 와퍼' 를 다시 "카세트 '로 전달 할 수 있다. "로봇 '무기 는 독립" 컨트롤러' 에 의하여 작동 되는데, 그것 은 선택 된 "웨이퍼 '를 8 개 까지 전달 하도록" 프로그램' 할 수 있다. 또한, 컨트롤러를 사용하여 단일 (single) 또는 다중 (multiple) 웨이퍼를 신속하게 해제하여 처리 중 웨이퍼가 손상되지 않도록 할 수 있습니다. "와퍼 핸들러 '에는 안전 한 상태 를 감지 한다면, 장비 를 차단 할 두 개 의 안전 연동" 스위치' 가 있다. 두 개의 안전 스위치는 서브록과 마스터 잠금입니다. 서브록 (sublock) 은 로봇 베이스에 있으며, 장치가 작동하는 동안 로봇 암의 동작을 방지합니다. 마스터 잠금 (Master Lock) 은 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 상단에 있으며 디바이스의 작동을 방지합니다. "웨이퍼 '손잡이 는" 웨이퍼' 에 음압력 을 가하여 이동 중 에 "웨이퍼 '를 안전 하게 잡고 붙잡는 진공" 시스템' 을 가지고 있다. 또한 "테이프 '" 애플리케이션' 은 진공 을 만들고 "웨이퍼 '표면 에" 테이프' 를 제거 하여 전송 중 에 정적 으로 쌓아 올리는 것 을 최소화 시킨다. EQUIPE PRE-200-CE Wafer Handler는 사고 또는 웨이퍼 또는 환경의 손상을 방지하는 많은 안전 조치로 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 긴급 안전 기능이 통합되어 있으며, 모든 프로세스 설정을 유지하면서 전원 장애 또는 장치 일시 중지 (Unit Pause) 에서 복구할 수 있습니다. 또한 통합 EMI 차폐, 내화성 배기 파이프, 압력과 온도를위한 탐지기도 포함됩니다. 전반적으로 PRE-200-CE Wafer Handler는 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 안전하고 정확하게 전송, 정렬 및 처리 할 수있는 효과적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 솔루션입니다. "와퍼 핸들러 '는 고급 안전 장치 (safety features) 를 통해" 웨이퍼' 나 환경 을 손상 시키지 않고 반도체 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 옮길 필요 가 있는 부문 에 뛰어난 성능 을 제공 한다.