판매용 중고 PRI / EQUIPE ESC 100 #9232813

PRI/EQUIPE ESC 100은 웨이퍼 처리 프로세스를 완전히 자동화하기 위해 정확하고 반복 가능한 모션 컨트롤을 갖춘 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 높은 정확성과 반복 성을 위해 주요 X-Y 포지셔닝 단계를 포함하여 듀얼 스테이지 설계를 특징으로합니다. 주 단계는 2 축 선형 변환 단계로 구성되며, 최대 4 인치까지 다이 크기를 처리 할 수 있습니다. 두 번째 단계는 정밀 수동 웨이퍼 (manual wafer) 처리 단계이며, 미세 튜닝 및 수동 웨이퍼 선택에 적합합니다. PRI ESC 100은 또한 시스템 정확성을 위해 최첨단 서보 제어 및 추적 기술을 갖추고 있습니다. 이것은 0.25 미크론까지 정확한 고해상도 광 PLC 인코더를 사용하여 달성됩니다. 이는 복잡한 웨이퍼 처리 프로세스를 수행 할 때 비교할 수없는 정확도를 허용합니다. 또한 읽기 가능한 광학 인코더를 사용하면 배선 변화를 부드럽게 할 수 있으며, 위치 지정 정확도를 높일 수 있습니다. EQUIPE ESC 100에는 웨이퍼 검사를 허용하는 통합 비전 장치가 포함되어 있습니다. 이 기계는 CCD 카메라, 광원, 필터, 이미지 프로세서 (소프트웨어 제어 알고리즘 포함) 로 구성되어 웨이퍼 결함을 정확하게 감지합니다. 비전 도구 (vision tool) 는 프로세스 요구에 따라 온라인/오프라인 결함 분석 모두에 사용할 수 있습니다. ESC 100은 고급 물리적 디자인도 갖추고 있습니다. 여기에는 매개변수 설정을 위한 메모리, 프로그램 저장용 메모리, 장치 상단의 푸시 타입 버튼 스위치, 로봇과 같은 외부 시스템에 연결하기 위한 푸시 타입 입력/출력 단말기 (push-type input/output terminal) 가 포함된 솔리드 스테이트 온보드 컨트롤러가 포함됩니다. 다른 기능으로는 교체하기 쉬운 부품, 넓은 작동 온도 범위 (섭씨 -20도 ~ 섭씨 60도) 및 먼지 및 물 방지를위한 IP24 등급이 있습니다. PRI/EQUIPE ESC 100은 자동 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 정밀 모션 제어 (Precision Motion Control) 기술과 다용도 비전 (Vision) 자산으로 설계되어 웨이퍼를 정확하게 모니터링하고 강력한 프로세스 제어를 지원합니다. 컴팩트한 디자인과 더불어 모든 기능을 통해 '산업용 (industrial)' 과 '실험용 (laboratory)' 을 완벽하게 선택할 수 있습니다.