판매용 중고 PRI / EQUIPE ESC 100 #74216

PRI/EQUIPE ESC-100 웨이퍼 핸들러는 대용량 제조를 위해 안정적이고 정밀한 웨이퍼 전송이 가능하도록 설계된 완전한 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 하이엔드 가전제품 (가전제품) 및 기타 까다로운 반도체 (반도체) 애플리케이션 제조에 이상적인 솔루션이다. 시스템은 전송 헤드, 웨이퍼 회전 목마, 웨이퍼 핸들러 및 웨이퍼 스테이지로 구성됩니다. PRI ESC-100 장치의 전송 헤드는 정확하고 안정적인 웨이퍼 전송을 제공하도록 설계되었습니다. 파퍼를 손상시키지 않고 안전하게 고정하고 옮길 수있는 듀얼 그리퍼 (dual gripper) 가 장착되어 있습니다. 그리퍼는 직경이 최대 8 "인 웨이퍼를 잡을 수 있으며 최대 23 개의 뉴턴 (Newtons) 의 픽앤 플레이스 힘을 가지고 있습니다. 전송 헤드는 두 개의 DC-서보 (DC-servo) 모터로 구동되며, 이 모터를 사용하여 정밀한 전송 동작을 실행하고 작동 중에 조정할 수 있습니다. 또한 +/-45 도 범위 내에서 모든 방향으로 웨이퍼 픽업 및 배치를 수행 할 수 있습니다. EQUIPE ESC-100 기계의 웨이퍼 회전 목마는 작동 중 웨이퍼를 저장하는 데 사용됩니다. 직경이 최대 8 "인 최대 16 개의 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. "캐러셀 '의 각도 도 공구 의 이동 동작 에 맞도록 조정 할 수 있으며, 더욱 신속 하고 정확 한" 웨이퍼' 동작 을 할 수 있다. 또한, 고급 디자인은 당황 및 교차 오염을 제거하는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 핸들러는 ESC-100 웨이퍼 전송 자산의 핵심입니다. 웨이퍼 조작 메커니즘이 장착 된 로봇 팔입니다. 이 메커니즘은 여러 방향으로 웨이퍼를 회전하고 기울일 수 있으며, 정확도와 속도로 픽업 (pick up), 배치 (place) 및 전송 웨이퍼 (transfer wafer) 를 설정할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 손상 및 웨이퍼 손실을 방지하기위한 보호 모델을 특징으로합니다. 마지막으로, PRI/EQUIPE ESC-100 장비의 웨이퍼 스테이지는 전송 작업 중에 웨이퍼를 고정하는 데 사용됩니다. 고정밀 스테퍼 모터 및 선형 인코더로 제조되어 웨이퍼 위치 정확성을 보장합니다. 스테이지는 또한 열 드리프트를 최소화하여 공차를 약 0.25 mm로 줄입니다. 전반적으로 PRI ESC-100 웨이퍼 핸들러는 고급, 안정성 및 정확한 자동 웨이퍼 전송을 제공합니다. 세련된 디자인으로 탁월한 성능을 제공하며, 가전 제품 및 기타 반도체 어플리케이션의 대용량 제조가 가능합니다.