판매용 중고 PRI / EQUIPE ATM1 #293644973

PRI / EQUIPE ATM1
ID: 293644973
Robot P/N: 4100-0039-049.
PRI/EQUIPE ATM1은 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 사용자에게 친숙한 기능과 모듈식 아키텍처 (Modular Architecture) 로 설계되었으며, 사용자가 직접 설정하고 시스템을 개별 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 정밀 모션 제어 (precision motion control) 와 보안 웨이퍼 처리 (secure wafer handling) 가 장착되어 있어 높은 품질의 성능과 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 플랫폼 동작을 제어하는 '드라이브 머신 (drive machine)' 은 높은 정확도와 속도 제어를 실행할 수 있습니다. 따라서 각 동작을 정확하게 제어하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구의 모듈식 구성 요소는 단일 헤드 에셋에서 이중/트리플 웨이퍼 핸들러 (double/triple wafer handler) 에 이르기까지 다양한 구성을 가능하게 합니다. 이 모델의 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 간편한 프로그래밍 및 구성을 통해 사용자는 각자의 요구에 맞게 장비를 조정할 수 있습니다. PRI ATM1은 200mm, 300mm 등을 포함한 다양한 크기와 유형의 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템의 보안 웨이퍼 처리 (secure wafer handling) 는 오염 물질과 입자가 장치에 들어가는 것을 방지하며, 운송 중 손상 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. EQUIPE ATM1에는 최대 500mm/s의 속도로 웨이퍼를 정확하게 조작 할 수있는 고성능 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있습니다. 또한, 기계는 웨이퍼를 조작하는 동안 최대 100g의 정밀한 제어력을 유지할 수 있습니다. 전반적으로, ATM1은 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 안정적이고 사용자 친화적 인 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 툴의 모듈식 설계를 통해 개별 요구 사항에 맞는 다양한 구성이 가능하며, 정확한 모션 제어 (motion control) 및 보안 웨이퍼 처리 (secure wafer handling) 기능을 통해 높은 품질의 성능과 안정적인 결과를 보장할 수 있습니다.
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