판매용 중고 PRI / EQUIPE ATM 2211 #9051645

PRI/EQUIPE ATM 2211 웨이퍼 핸들러는 시간당 최대 1152 개의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고정밀 입자 운송 장비입니다. 태양전지와 반도체에 사용되는 것을 포함하여 고품질 싱글 레이어 (single-layer) 및 멀티 레이어 (multi-layer) 회로 기판 생산을 위해 설계되었습니다. PRI ATM 2211 (PRI ATM 2211) 은 완전히 자동화된 웨이퍼 핸들러로, 사용자가 개입하지 않고 프로세스 도구와 트레이 간에 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 대량 생산 플랫폼에 장착 된 로봇 제어, 6 축 웨이퍼 전송 시스템이 특징입니다. 웨이퍼 핸들러에는 헤드 틸트 (head tilt) 메커니즘이 있으며, 이를 사용하여 웨이퍼를 최대 +/- 60도 회전시킬 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에 에칭 된 패턴을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 스택에서 스택으로의 웨이퍼 수송을 지원하는 제어 된 에어 슈 (air-shoe) 메커니즘이 있습니다. 이 제품은 다양한 유형의 장비 통합 및 상호 작용을 허용하는 모듈식 통신 인터페이스 (modular communication interface) 로 설계되었습니다. 또한 공장 네트워크를 통한 이더넷 (Ethernet) 연결을 통해 쉽게 원격 유지 보수가 가능합니다. 웨이퍼 핸들러에는 프로세스 전반에 걸쳐 모든 상태를 모니터링하는 여러 센서가 통합된 통합 안전 장치 (Integrated Safety Unit) 가 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 트레이 전송, 로드 포트, 핀 리프트 헤드, 언로드 포트, 증착 암 등 다양한 악기 및 액세서리와 호환되도록 설계되었습니다. 마운트 시스템, 레이저 와이어 처리 시스템, 인라인 도량형 시스템 등 최대 15 개의 툴과 통합할 수 있습니다. 더욱이, 이 시스템은 이중 포트 (Port) 처리 기능을 갖추고 있어 두 개의 프로세스 툴을 동시에 처리할 수 있습니다. EQUIPE ATM 2211 웨이퍼 핸들러는 대용량 시설을 위한 완벽한 선택입니다. 이 강력하고 안정적인 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Machine) 는 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하여 프로세스 집약적인 모든 생산 환경에 필수적인 도구입니다. 강력한 엔지니어링 및 빌드 품질 (build quality) 을 갖춘 이 기계는 앞으로 몇 년 동안 문제 없는 작동을 보장하도록 설계되었습니다.