판매용 중고 PRI / EQUIPE ATM 105-2-S #143149

ID: 143149
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Robot, 8", 2000 vintage.
PRI/EQUIPE ATM 105-2-S는 웨이퍼 처리 및 테스트를 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 웨이퍼 처리 장비에는 고속, 다중 축 드라이브 (multi-axis drive) 장비가 장착되어 있어, 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리 및 테스트가 가능합니다. PRI ATM 105-2-S는 최대 1.5mm의 두께로 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 처리 시스템에는 웨이퍼 카세트 리프트 (wafer cassette lift) 가 내장되어 있어 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 의 적재 및 이동과 동일한 저장에 도움이됩니다. EQUIPE ATM 105-2-S에는 속도 조절 가능한 로봇 암 (9 축) 이 포함되어 있으며, 픽 앤 플레이스 (pick and place), 웨이퍼 전송 및 코팅과 같은 여러 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 로봇 암은 또한 자동으로 웨이퍼를 로드, 언로드 및 정렬 할 수 있습니다. 또한 ATM 105-2-S 에는 비전 장치 (vision unit) 가 내장되어 있어 처리 및 테스트를 위해 올바른 방향으로 웨이퍼를 식별하고 배치할 수 있습니다. PRI/EQUIPE ATM 105-2-S의 온도 범위는 섭씨 15-40도이며, 무접촉 및 무접촉 웨이퍼 처리 방법을 사용할 수 있습니다. 또한 기계에는 다양한 두께, 모양 및 크기의 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수있는 자동 민감도 조정 (Automatic Sensitivity Adjustment) 이 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 터치 센싱 머신 (Wafer Touch Sensing Machine) 이 내장되어 있어 웨이퍼의 불규칙성을 감지하고 동일한 손상을 방지합니다. PRI ATM 105-2-S는 부식 내성 스테인리스 스틸로 구성되어 내구성과 장기 신뢰성을 보장합니다. 또한, 이 기계에는 수많은 안전 연동 장치 (Safety Interlock) 와 보호 장치 (Protection Device) 가 장착되어 있어 무단 작동, 무단 액세스 및 우발적 충돌을 방지합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 질소 및 아르곤과 같은 비활성 가스를 안전하게 저장 및 공급하는 주유소 모듈 (Gas Station Module) 을 통합 할 수있는 옵션도 있습니다. 이 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 장비는 웨이퍼 처리 및 테스트를 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션으로, 높은 정확도를 필요로 하는 고정밀 부품 (High-Precision Part) 및 컴포넌트 처리에 이상적인 솔루션입니다. 기계의 안전성 (Safety Features) 은 운영자의 안전성과 웨이퍼의 무결성 (Integrity of the Wafers) 을 보장하며, 기계의 견고한 구축은 장기적이고 반복적인 사용의 엄격함을 견딜 수 있도록 보장합니다. 따라서 EQUIPE ATM 105-2-S는 웨이퍼 처리 작업에 적합한 선택입니다.
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