판매용 중고 PRI / EQUIPE ATM 104 #9140500

PRI / EQUIPE ATM 104
ID: 9140500
웨이퍼 크기: 8"
Wafer handling robot, 8".
PRI/EQUIPE ATM 104는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. "웨이퍼 '처리기 의 주요 기능 은 공장 내 의 여러 가지 가공 장비 사이 에" 웨이퍼' 를 운반 하는 것 이다. "웨이퍼 '는 손상 이나 오염 을 방지 하기 위하여" 웨이퍼' 를 일관성 있게 움직 이면서 장비 간 에 "웨이퍼 '를 움직 일 수 있다. PRI ATM 104 웨이퍼 핸들러는 기압 웨이퍼 트랜스포터입니다. 이 장비 는 "웨이퍼 '를 일관성 있게 유지 하면서, 반도체 제조 장비 들 사이 에 빠르고 정확 하게" 웨이퍼' 를 이동 하도록 설계 되었다. 이것은 웨이퍼의 뒤틀기, 크래킹 또는 오염을 방지하기 위해 수행됩니다. 이 시스템은 일련의 기압 흡입 컵 (air pressure suction cup) 을 사용하여 웨이퍼를 부드럽게 잡고 운반합니다. 기압 흡입 컵은 조절 가능한 공기 압축기에 연결됩니다. EQUIPE ATM 104에는 몇 가지 안전 기능이 포함되어 있어 올바른 웨이퍼 처리를 보장합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 기계식 센서와 광학 센서를 모두 사용하여 장치 내에 웨이퍼가 있음을 감지합니다. 웨이퍼가 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 를 떨어 뜨리면 비상 정지 (emergency stop) 기능이 활성화되어 전체 기계를 중지시킵니다. 이렇게 하면 도구 가 "웨이퍼 '를 더 이상 운반 하지 못하게 되며, 이것 은" 웨이퍼' 의 손상 을 방지 하는 데 도움 이 된다. ATM 104 는 고유한 서보 모터 (servo motor) 기능을 통해 웨이퍼를 신속하게 조작하고 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 서보 모터는 조정이 가능하며, 더 빠르고 정확한 웨이퍼 이동이 가능합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 다양한 웨이퍼 크기와 무게를 수용 할 수있는 미디어 버퍼 에셋이 있습니다. PRI/EQUIPE ATM 104 웨이퍼 핸들러는 반도체 처리에 사용되는 안정적이고 내구성이 뛰어난 도구입니다. 고립 된 주택, 효과적인 흡입 컵 (suction cup) 및 비상 정지 (emergency stop) 기능은 손상이나 오염을 감수하지 않고 처리 장비 사이에 웨이퍼를 운반하는 안전하고 효과적인 수단을 제공합니다. 현대의 서보 모터 (servo motor) 작동은 신속하고 효율적인 이동 및 위치 지정 웨이퍼 수단을 제공합니다. 미디어 버퍼 기능은 다양한 웨이퍼 크기와 무게와 호환됩니다. 전반적으로 PRI ATM 104는 효과적이고 효율적인 웨이퍼 처리 모델입니다.
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