판매용 중고 PRI / EQUIPE ABM 207B-1-S-CE #143151
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PRI/EQUIPE ABM 207B-1-S-CE 웨이퍼 핸들러는 2 개의 운송 선박, 2 개의 셔틀 카트 및 수송 암으로 구성된 산업 등급 로봇 시스템으로 최대 48 개의 200mm (또는 거의 8 인치 직경) 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PRI ABM 207B-1-S-CE 웨이퍼 핸들러에는 고급 컨트롤러로, 전문 웨이퍼 처리 작업이 가능합니다. 기존 웨이퍼 처리 방식보다 최대 3 배 더 빠르도록 설계되었으며, 웨이퍼 파손 및 폐기물을 줄이는 진공 기반 웨이퍼 홀딩 시스템 (vacuum based wafer holding system) 이 특징입니다. "로봇 '은 대단 히 융통성 이 있으며," 웨이퍼' 를 정확 하게 선택 하고 배치 할 수 있는 능력 이 있는 광범위 한 운동 을 갖추고 있다. EQUIPE ABM 207B-1-S-CE는 다양한 기능을 제공하며 정렬, 스태킹, 전송 및 청소 웨이퍼 등 다양한 작업에 사용할 수 있습니다. 또한 시트 및 프레임리스 웨이퍼 모두에서 검사, 포토 esist 응용 프로그램, 드릴링 및 다이킹과 같은 응용 분야에도 적합합니다. 강력한 구성 및 잘 배치 된 구성 요소는 ABM 207B-1-S-CE 웨이퍼 처리기가 다른 유형의 로봇보다 유리합니다. 인원과 공정 (예: 시력 시스템, 제한 센서, 수송 암 (transport arm arm) 팔의 리트랙션 바) 의 안전을 보장하는 여러 안전 메커니즘이 특징입니다. PRI/EQUIPE ABM 207B-1-S-CE는 또한 최고의 처리량을 제공하여 고속 작동과 정확성을 제공합니다. 최대 안정성과 성능을 보장하기 위해 웨이퍼 핸들러에는 내장형 제어 보드 (control board) 와 PLC + 프로세서가 장착되어 있습니다. 제어 보드 (Control Board) 는 웨이퍼 프로세스의 흐름과 성능을 모니터링하며, 단일 사이클에서 40 개 이상의 매개변수를 제어할 수 있습니다. 또한, 사용자 제어 설정에 대해 여러 가지 사용자 정의 가능한 매개 변수가 장착되어 있습니다. 따라서 필요에 따라 다른 시스템과 쉽게 통합할 수 있습니다. PRI ABM 207B-1-S-CE 웨이퍼 핸들러는 제조업체에 제품을 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 기능을 제공하여 생산 프로세스의 효율성을 향상시킵니다. 컴팩트 (compact) 한 디자인으로 공간 및 에너지 요구량을 줄이고, 로봇을 특정 요구사항에 맞게 구성할 수 있는 유연성을 제공합니다 (영문). 생산성을 극대화하면서 가동 중지 시간을 줄이기 위해 설계된 EQUIPE ABM 207B-1-S-CE는 오늘날 가장 발전된 반도체 제품의 생산에 필수적인 도구입니다.
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