판매용 중고 OPTO MICRON FX-1209 #293641315

OPTO MICRON FX-1209 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼를 공정 챔버로 빠르고 정확하게 전송하도록 설계된 고급 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. 다목적, 모듈식 설계를 통해 여러 구성 요소를 추가하여 최적의 성능과 유연성을 제공합니다 (영문). 이 시스템은 매우 다양한 구성의 고정밀 (high-precision) 배열을 제공하며, 반도체 기판 조작에서 독특한 가능성을 제공합니다. FX-1209는 통합 로봇 암 (robotic arm) 어셈블리를 사용하여 제작되었으며, 최대 500mm 직경의 다양한 크기 웨이퍼를 수용하도록 구성되었습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 X, Y 및 Z축에서 이동이 가능한 비례, 서보 컨트 롤러 및 기타 컴포넌트와 결합 된 고정밀, 이중 축 로봇으로 구성됩니다. 로봇과 컨트롤러는 AC 주 또는 옵션 DC 주 전압으로 구동됩니다. 이 로봇은 직관적인 Windows 기반 소프트웨어 패키지를 통해 사용자가 조작하고 프로그래밍할 수 있습니다. 프로세스 챔버 및 기타 외부 시스템과의 로봇 암 (robot arm) 및 컨트롤러 (controller) 인터페이스를 통해 측정, 모니터링 및 제어 시스템을 통합할 수 있습니다. 비전 시스템 (옵션), 핸들 조작기 (handle manipulator) 및 트레이 로딩 액세서리 (tray loading accessory) 와 같은 다양한 구성 요소를 사용하여 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 맞춤형 솔루션을 사용할 수 있습니다. OPTO MICRON FX-1209에는 최첨단 모션 컨트롤 장치 (Motion Control Unit) 가 장착되어 있어 포지셔닝 및 처리량이 매우 정확합니다. 유연하고 강력한 소프트웨어를 통해 시스템 작동을 쉽게 설정, 최적화, 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 다양한 통신 프로토콜을 지원하여 다른 프로세스 시스템과의 통합을 지원합니다. FX-1209에는 ESD 접지 자산 및 안전 연동 (Safety Interlock) 과 같은 여러 가지 고급 안전 기능이 포함되어 있으며, 직원, 프로세스 및 기계의 안전성과 보호를 강화합니다. OPTO MICRON FX-1209 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조, 평면 패널 디스플레이 처리, LED 조립, 태양전지 제조 등 다양한 프로세스 응용 프로그램에서 사용하도록 설계되었습니다. 견고하고 신뢰할 수 있으면이 모델은 산업 응용 분야에서 선호됩니다.