판매용 중고 OLYMPUS FR3200 #293830855

OLYMPUS FR3200은 반도체 응용 프로그램의 웨이퍼 처리에 사용되는 완전 자동화 웨이퍼 처리 시스템입니다. 열 처리, 사진 촬영, 에칭, 연마, 캡슐화 등 다양한 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. FR3200에는 자동 웨이퍼 교환, 자동 주입/분배 기능이 있으며 최대 8 "직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. OLYMPUS FR3200에는 정확한 위치 지정 및 이동을 위해 3 축 웨이퍼 로봇이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 교환 스테이션은 핸들러를 프로세스 도구로 연결하는 데 사용됩니다. FR3200 은 자동 입력/분배 모듈 (옵션) 과 인터페이스할 수 있으므로 Wafer 를 수동으로 로드하거나 Wafer 를 언로드하지 않고도 Wafer 로드 및 Unload 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 로드 또는 언로드와 관련된 수동 작업이 줄어듭니다. 8 인치 모델에서 시간당 최대 30 개의 웨이퍼로 처리량을 높일 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 옵션과 설정을 탐색하기 위한 대형 컬러 터치스크린 디스플레이와 함께 연산자 친화적으로 설계되었습니다. 이 디스플레이에는 실시간 프로세스 모니터 (Real-Time Process Monitor) 와 전체 메뉴 세트가 포함되어 있으며, 이 메뉴는 탐색에 사용자에게 적합합니다. 또한 wafer 핸들러 (wafer handler) 는 프로세스 조건을 자동으로 검사하고 프로세스에 장애가 있거나 불규칙한 경우 연산자에게 경고를 보냅니다. 올림푸스 FR3200 (OLYMPUS FR3200) 에는 충돌 방지 센서가 장착되어 있어 웨이퍼 처리기와 프로세스 도구를 모두 충돌로부터 보호합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 처리 과정에서 웨이퍼를 보호하기 위해 진동 및 충격 흡수기가 포함됩니다. FR3200 은 Cleanroom 환경에서 사용하도록 설계되었으며 Class 1000 Cleanroom 등급을 받았습니다. 여기에는 HEPA 여과가 포함되어 있으며, 이 과정에서 웨이퍼가 오염 없이 유지됩니다. 또한, OLYMPUS FR3200에는 프로세스의 최적의 조건을 보장하기 위해 습도 및 온도 조절 시스템이 내장되어 있습니다. FR3200은 손쉬운 유지 관리 및 수리를 위해 설계되었습니다. 신속한 릴리즈 (Quick Release) 부품과 신속하게 교체할 수 있는 구성 요소가 포함되어 있어 유지 보수 및 수리 시간이 단축됩니다. 또한 자동화된 예방 유지 관리 (Preventative Maintenance) 및 진단 (Diagnostic) 기능이 장착되어 있어 항상 시스템이 최적으로 실행됩니다. 결국, OLYMPUS FR3200 (OLYMPUS FR3200) 은 다양한 반도체 프로세스에 사용하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 처리 시스템입니다. 8 인치 모델에서 시간당 최대 30 개의 웨이퍼로 처리량을 높일 수 있습니다. 3 축 웨이퍼 로봇, 자동 주입/분배 모듈, 정확한 위치 및 안전을 위한 충돌 방지 센서가 장착되어 있습니다. 또한, FR3200 은 유지 관리 및 수리가 용이하도록 설계되었으며, 최적의 프로세스 조건을 위한 습도 및 온도 조절 기능이 내장되어 있습니다.