판매용 중고 OLYMPUS AL120-LMB12-LP3 #293668238

OLYMPUS AL120-LMB12-LP3 웨이퍼 핸들러는 많은 수의 웨이퍼를 처리하기위한 고성능, 완전 자동화 된 반도체 제작 기계입니다. 이 반자동 웨이퍼 핸들러는 선형 모터 드라이브 장비를 갖추고 있으며, 단일 리프트 및 전송 시스템으로 12 인치 (305mm) 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 또한, 정확한 위치 제어, 처리 효과 향상 및 높은 수준의 프로세스 효율성을 제공하는 자기 클램프 (magnetic clamp) 가 포함되어 있습니다. 이 장치는 개방형 상단 작업 영역 (Top Work Area) 으로 편리하게 설계되어, 프로세스 셀로의 웨이퍼 (Wafer) 전송, 정렬 및 전송을 위한 여러 시설을 적재할 수 있습니다. 또한, 아트 디자인 상태 (State of Art Design) 에는 기계의 장수와 최적의 성능에 대한 열 제어 기능을 제공하는 내장 냉각 장치가 포함되어 있습니다. 주요 작동 기능으로는 패널 작동 로드/언로드 시스템, 프로세스 매개변수 설정을위한 프로그래밍 가능한 컨트롤러, 이동 속도 관리를위한 모션 컨트롤러 (Motion Controller) 가 있습니다. 또한, 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 정확한 타이밍 제어 및 시간 정확도를 제공하여 재 작업 및 재료 비용의 낭비를 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 이 기계에는 공기와 웨이퍼 동작의 빠르고 정확한 흐름을 위해 설계된 진공 척 도구 (vacuum chuck tool) 와 프로세스 효율과 성능을 극대화하기 위해 프로세스 셀 간의 정확한 분리 거리를 유지하는 리프트 (Lift) 및 드라이브 (Drive) 에셋이 포함되어 있습니다. 마지막으로, AL120-LMB12-LP3 웨이퍼 핸들러는 업계 표준을 완벽하게 준수하며, 운영 용도로 특별히 설계된 통합 소프트웨어, 하드웨어, 구성 요소를 포함합니다. 이 모든 것을 포괄하는 설계를 통해 기계는 빠르고, 쉽게 설치, 운영될 수 있으며, 따라서 사용자는 프로세스 셀 (process cell) 생산에서 최고의 성능과 효율성을 경험할 수 있습니다.