판매용 중고 OLYMPUS AL110-L8 #9257489

OLYMPUS AL110-L8
ID: 9257489
Auto loader.
OLYMPUS AL110-L8은 다양한 웨이퍼 처리 요구에 적합한 고정밀, 대용량 웨이퍼 핸들러 장비입니다. 경제적인 패키지로 안정적이고 정확한 운영을 제공합니다. 이 시스템은 8 인치 (200mm) 및 12 인치 (300mm) 웨이퍼를 여러 열 프로세스의 로드 및 언로드 스테이션에 안전하게 전달하고 포지셔닝 할 수 있습니다. OLYMPUS AL-110-L8에는 강력한 서보 모터와 다이렉트 드라이브 (direct drive) 가 장착되어 있어 정확한 웨이퍼 위치와 정확한 작동을 보장합니다. 이 장치는 주 왜건 어셈블리, 하중 열차 어셈블리, 드라이브 어셈블리 및 동작 제어 어셈블리 (motion control assembly) 로 구성됩니다. 로드 트레인 어셈블리 (load train assembly) 는 웨이퍼를 열 처리 챔버 안팎으로 로드합니다. 동작 제어 어셈블리는 EOAT (End Of Arm Tool) 작동을 제공하여 제한된 공간에서도 정확한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 또한 AL110-L8에는 종합적인 비전 머신 (Vision Machine) 이 장착되어 있어 운영자가 로드 및 언로드 과정에서 웨이퍼의 위치와 상태를 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 또한 STS (Station-to-Station Communications) 및 SPC (Safety Protocol Controller) 를 사용하여 안전하게 작동합니다. AL-110-L8 웨이퍼 핸들러는 장기적인 안정성을 위해 제작되었으며 자동 웨이퍼 추적, 오류 증명, 자동 온보드 진단, 원격 HMI, 보안 인터페이스 등 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 자산은 업계 표준 EOAT (EOAT) 첨부 파일과도 호환되며, 다른 OEM 플랫폼과 함께 사용할 수 있습니다. 전반적으로 OLYMPUS AL110-L8은 대용량 및 반복 가능한 웨이퍼 처리 요구에 이상적인 솔루션입니다. 견고한 구성과 고급 (Advanced) 기능을 통해 모든 유형의 열 프로세스에서 안정적이고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 비용 효율적이고 사용자 친화적인 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션을 제공하여 운영자가 생산성을 극대화하는 동시에 안전하고 효율적인 업무 환경을 구축할 수 있도록 지원합니다 (영문).
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