판매용 중고 NADATECH RS2 #9314753

NADATECH RS2는 반도체 웨이퍼의 정확하고 자동화된 처리 및 제어를 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 첨단 설계는 높은 정밀도 이동, 뛰어난 프로세스 제어, 뛰어난 다용성을 제공합니다. RS2는 최대 755mm 크기의 5 축 로봇 암과 최대 12 인치 크기의 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수있는 6 도의 자유도를 가진 델타 헤드 (delta head) 를 갖추고 있습니다. 또한 3 차원 카운터 밸런싱 기능은 웨이퍼를 처리 할 때 뛰어난 정확도를 제공합니다. NADATECH RS2에는 자동 폐렴 전기 입자 탐지 장비 (automated pneumo-electric particle detection equipment) 가 장착되어 있으며, 웨이퍼 표면에서 불완전성, 긁힘, 입자를 감지하고 안전하고 정확한 작동을 위해 처리 지침을 자동으로 조정합니다. 또한, 웨이퍼의 자동 다중 축 정렬을 위해 정밀 단계가 포함됩니다. RS2에는 최적의 웨이퍼 환경 조건을 유지하기 위해 온도 환기 시스템도 포함되어 있습니다. NADATECH RS2는 고속 오픈 루프 서보 장치 (Open loop servo unit) 를 자랑하여 25 미크론 이내에서 일관되고 반복 가능한 정확성으로 매우 정확하고 반복 가능한 포지셔닝을 가능하게합니다. 이 고급 웨이퍼 핸들러 (advanced wafer handler) 는 웨이퍼 직경과 두께를 기준으로 한 번에 최대 50 개의 웨이퍼를 보관할 수 있으므로 대용량 어플리케이션에 적합합니다. 고급 웨이퍼 척 (Wafer Chucking) 메커니즘은 다양한 크기, 모양 및 재료의 웨이퍼를 처리하기 위해 RS2를 사용하는 유연성을 더욱 높입니다. 뛰어난 정확도와 정확성의 결과로, NADATECH RS2는 얇은 웨이퍼 처리, 초정밀 조립, 기타 매우 정밀도 요구 사항을 포함하는 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 안전성 및 편의성 향상을 위해 RS2 는 완전 자동화 (Fully Automated) 또는 수동 (Manual) 모드로 작동하도록 설계되었습니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 필요에 따라 수작업 (manual operation) 을 수행하거나 처리량을 높일 수 있도록 완전하게 자동화된 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 NADATECH RS2에는 wafer thick geging, auto retrieval, programmable pick and place routine, 최대 프로세스 제어를 위한 사용자 정의 부품 처리 라이브러리 등의 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로, RS2는 반도체 웨이퍼의 정확한 처리 및 제어에 적합한 솔루션입니다. 고급 디자인은 대용량 및 초정밀 웨이퍼 처리 어플리케이션 모두에 뛰어난 다용도, 정밀도, 정확도를 제공합니다.