판매용 중고 NADATECH / ASYST SMS 2300SI #9226693

NADATECH/ASYST SMS 2300SI는 FEOL (Front-End-of-Line) 프로세싱과 같은 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 고정밀 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러는 마이크로 포지션 (micro-position) 기술을 통합하여 런아웃이 적은 정확한 동작 조정 및 3 축 정렬을 허용합니다. 200mm 및 300mm 웨이퍼를 포함하여 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 조정 가능한 척 (chuck) 이 있습니다. 이 장비는 간단한 작동을 위해 설계되었습니다. 사용자 친화적 LCD 인터페이스 (User-Friendly LCD Interface) 를 사용하여 다양한 작동을 위해 설치 및 구성할 수 있습니다. 최대 125 개의 웨이퍼를 운반 할 수 있으며, 정확하고 안정적인 웨이퍼 조작을 위해 진공 웨이퍼 픽 (vacuum wafer pick) 및 배치 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 웨이퍼 포지셔닝, 온도, 기타 프로세스 매개 변수 추적을 위한 통합 모니터링 장치 (monitoring unit) 가 있습니다. 이 기계는 강력하고 신뢰할 수있는 모터로 구동되며, 저소음 작동과 최고 150 woph (시간당 웨이퍼) 의 고속 속도를 제공합니다. 또한 오작동시 안전성을 보장하기 위해 자동화된 비상 정지 (Emergency Stop) 메커니즘이 특징입니다. 이 도구에는 충돌 방지 (Anti-Collision) 메커니즘이 장착되어 있어 웨이퍼가 서로 충돌하는 것을 방지하고, 예기치 않은 경우에 사용할 수 있는 비상 정지 (Emergency Stop) 에셋이 사용됩니다. 쉽게 유지 관리 및 수리 할 수있는 모듈식 디자인이 있습니다. ASYST SMS 2300SI는 반도체 산업에서 널리 사용되어 FEOL 처리를 위해 다양하고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. "마이크로 포지셔닝 (micro positioning) '기술은 다양한 웨이퍼 크기에 대해 정확하고 안정적인 작동을 보장하며, 빠른 연결 기능을 통해 빠르고 효율적인 설정이 가능합니다. 이 모델은 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다.