판매용 중고 NADATECH 2 Stage #74165

NADATECH 2 Stage는 웨퍼 전송 및 처리를 위해 안전하고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계된 자동화된 2 단계 웨이퍼 핸들러입니다. 2 단계 접근 방식은 처리량을 높이고, 오염을 줄이고, 제품 처리의 전반적인 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 2 Stage는 최대 100mm/sec의 전체 사이클 속도로 작동하는 동안 2 단계 로봇 암을 사용합니다. 각 로봇 단계는 X, Y 및 Z축 위치 및 팔의 끝 이펙터를 제어하는 브러시리스 (brushless) 전기 DC 모터에 의해 구동됩니다. 이 모터는 고정밀도 제어를 가능하게 하며, 다양한 환경에서 강력한 작동을 위해 필요한 토크 (torque) 와 전원 (power) 을 제공합니다. 장비는 고급 PC 기반 제어 시스템 (기존 공장 자동화 시스템에 쉽게 통합) 을 통해 제어됩니다. NADATECH 2 Stage (NADATECH 2 Stage) 의 고급 설계에는 웨이퍼 처리 공정의 정확성을 보장하기 위해 웨이퍼를 찾고 식별 할 수있는 내장 비전 기술이 포함되어 있습니다. 자동 웨이퍼 핸들러는 또한 최고의 안정성과 유연성을 위해 3 점 장착 장치를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 교환 (wafer exchange) 영역은 핸들러 왼쪽에 있으며 2 개의 웨이퍼를 보관하도록 설계되었습니다. 이 Exchange 영역은 크기와 위치 측면에서 사용자 정의할 수 있으며, 따라서 크기가 다른 툴과 호환됩니다. 2 Stage는 또한 인체 공학적이고 사용자 친화적 인 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 자랑합니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 메뉴는 쉽게 단계별 전송 및 그리퍼 제어 구성을 제공합니다. 또한 NADATECH 2 Stage에는 최대 웨이퍼 그립 힘을 제공하기 위해 설계된 통합 진공 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이 진공기는 또한 인라인 질소 플러시 (inline nitrogen flush) 와 같은 오염 방지 측정을 통합 할 수 있습니다. 2 Stage는 반도체, 디스크 드라이브, MEMS 생산 등 다양한 산업과 애플리케이션에 적합합니다. 강력한 구성과 안정적인 성능으로 NADATECH 2 스테이지 (NADATECH 2 Stage) 는 기존 시스템에 쉽게 통합되거나 독립형 도구로 사용할 수 있습니다.