판매용 중고 NACHI EZ Series #293606739

ID: 293606739
빈티지: 2018
Robots 4-Axis 2018 vintage.
NACHI EZ 시리즈 웨이퍼 핸들러 (NACHI EZ Series Wafer Handler) 는 반도체 제조 공정에서 와퍼를 안전하고 정확하게 이동하고 처리하도록 설계된 자동 시스템입니다. 이 장비는 웨퍼 인덱싱 정확도 (최대 ± 2 mm) 로 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 전송 메커니즘을 특징으로합니다. EZ 시리즈는 또한 최대 Ø300mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 혁신적인 웨이퍼 처리 메커니즘 (wafer handling mechanism) 을 특징으로하여 크고 작은 웨이퍼 크기를 동시에 처리 할 수 있습니다. 모듈식 시스템 아키텍처를 통해 NACHI EZ 시리즈 (NACHI EZ Series) 는 특정 반도체 제조 공정의 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. EZ 시리즈는 고급 센서를 통해 고급 처리 기능을 제공하며, 이를 통해 정확한 위치 지정 및 정렬을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 습식 (wet) 및 건조 (dry) 응용 프로그램뿐만 아니라 청소 실과 주변 환경을 포함한 다양한 환경에서 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 통합 동작 제어 및 동작 프로파일 (예: 선형 또는 원형 동작) 도 사용할 수 있습니다. 또한 PLC (programmable logic controller) 는 소프트웨어 프로그래밍을 통한 사용자 정의를 허용하면서 원활한 작동을 보장합니다. NACHI EZ 시리즈는 고속, 정확한 웨이퍼 처리를 제공하는 통합 프로그래밍 가능한 기계입니다. 단일 장치 (single unit) 로서, 이 도구는 여러 개의 웨이퍼를 한 번에 운반 할 수 있으며, 스테이션 간 웨이퍼를 신속하게 전송하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 이 통합을 통해 다운타임 최소화, 비용 절감, 유지 보수, 수리 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다. EZ 시리즈는 빠르고 안정적이며 비용 효율적인 웨이퍼 제작을 제공합니다. 이 자산은 소형 웨이퍼 크기에서 대형 웨이퍼 크기에 이르기까지 다양한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 또한 모듈성을 통해 맞춤형 시스템 (custom-tailored system) 을 생성할 수 있으며, 이는 변화하는 요구에 맞게 업그레이드할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 다른 고급 자동화 시스템 및 다른 보완 장비 (예: 용광로) 와 통합되어 프로세스를 추가로 자동화 할 수 있습니다. 전체적으로 NACHI EZ 시리즈는 반도체 제조에서 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다. 정교한 디자인, 고급 기능, 유연성을 통해 모든 제조 환경에 이상적인 선택이 가능합니다. 이 장비에는 다양한 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 제작을 위한 최적의 선택입니다.
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