판매용 중고 MURATA SRC 330 #177091

MURATA SRC 330은 안정성이 높고 고급 웨이퍼 핸들러로, 반도체 프로세스 응용 프로그램에 사용하기에 적합합니다. SRC 330은 직경 50mm ~ 300mm 범위의 다양한 직경의 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 정밀 이동과 높은 반복성을 제공하도록 설계되어, 생산 환경에서 사용하기에 적합합니다. 무라타 SRC 330 (MURATA SRC 330) 은 수정 된 가위 리프트 설계로, 프로세싱 스테이션과 로드/언로드 스테이션 사이에서 웨이퍼를 정확하게 이동할 수있는 센서 및 액추에이터 배열을 포함합니다. 가위 리프트는 브러시리스 (brushless) DC 모터와 정밀하고 백래시 (backlash) 프리 기어 헤드 장비의 조합으로 구동됩니다. 이로써, 정확한 로드 및 언로드 작업을 위해 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 이동할 수 있습니다. SRC 330에는 웨이퍼 위치를 모니터링 및 검증하기 위해 2 개의 카메라가 내장되어 있습니다. 카메라는 2 개의 랙 X-Y 변위 시스템에 장착되어 있어 최적의 시청을 위해 카메라를 빠르고 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 카메라에는 5x-30x 확대/축소 렌즈와 고해상도 CMOS 이미지 센서가 장착되어 있어 웨이퍼 위치를 자세히 볼 수 있습니다. 무라타 SRC 330 (MURATA SRC 330) 에는 모든 안전 조건이 충족될 때까지 웨이퍼 처리기가 작동하지 않도록 안전 연동 장치가 있습니다. 안전 연결 (Safety Interlock) 은 안전 하지 않은 상태 (예: 웨이퍼 패턴의 예기치 않은 변경) 가 감지되면 비상 정지를 유발합니다. 또한, SRC 330은 사용자가 특정 요구사항과 프로덕션 요구사항에 맞게 시스템을 조정할 수 있도록 조정할 수 있는 여러 가지 설정 (setting) 을 제공합니다. MURATA SRC 330은 중요한 반도체 프로세스 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 정확성과 반복 가능성, 높은 수준의 안전, 조절 가능한 설정으로, SRC 330은 정확하고 신뢰할 수 있는 Wafer Handling Machine이 필요한 고객에게 이상적인 선택입니다.