판매용 중고 MURATA CD200 #9039649

제조사
MURATA
모델
CD200
ID: 9039649
Wafer stocker, 8" Fluoroware box Storage capacity: 148 I/O Locations: (2) Input (2) Output Right rear Transport ports: (1) Input, right middle (1) Output, right middle.
MURATA CD200 Wafer Handler는 반도체 및 평면 패널 생산 응용 프로그램을위한 자동 하위 미크론 처리 및 도량형 시스템입니다. CD200 은 가장 높은 처리량과 가장 정확한 결과, 그리고 가장 짧은 주기 시간을 제공하도록 설계되었습니다. 소형 단축 (compact, single-axis) 시스템으로 자동화된 제조 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. MURATA CD200에는 고해상도 디지털 카메라와 고급 이미지 프로세싱이 장착되어 있어 웨이퍼 패턴, 결함, 에지 특성을 파악할 수 있습니다. 로봇 암은 3 차원 공간에서 매우 정확하게 움직여 100 나노 미터 미만의 정밀도로 웨이퍼를 집어 들고, 처리하고, 배치 할 수 있습니다. 또한 CD200은 웨이퍼 검사 및 정렬을 위한 고정밀 정렬 기능으로도 설계되었습니다. MURATA CD200은 여러 웨이퍼 처리 작업을 빠르고 정확하게 수행 할 수 있습니다. 이러한 작업에는 웨이퍼 교정, 모서리 검사, 웨이퍼 정렬 및 모서리 버링이 포함됩니다. CD200은 정밀 정렬 및 텍스처 매핑과 같은 다른 시스템 컴포넌트와 통합되어 정확한 결과를 제공합니다. 스트레스 매핑, 유전체 및 금속 시트 저항과 같은 웨이퍼 레벨 테스트에도 사용할 수 있습니다. MURATA CD200에는 웨이퍼 그립 및 취급을위한 통합 진공 척 스테이션이 제공됩니다. 진공 척 스테이션 (Vacuum Chucking Station) 에는 로드 및 언로드 작업 중 안전을 보장하기 위해 방울 방지 안전 장치가 장착되어 있습니다. 또한 CD200에는 웨이퍼 처리 부품 (wafer handling part) 을 빠르고 쉽게 교환할 수 있는 공구 교환기가 포함되어 있습니다. MURATA CD200은 모든 웨이퍼 크기에 걸쳐 작은 크기에서 큰 크기의 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. CD200 의 독보적인 Optical Metrology and Sorting 기능은 고급 웨이퍼 생산에 이상적입니다. 빠른 속도와 정확성과 함께 다양한 작업, 정밀성, 반복성 (repeatability) 을 통해 웨이퍼 처리 어플리케이션에 적합합니다.
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