판매용 중고 MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19 #293664134

MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19는 반도체 프로세스의 자동화 및 정밀도를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. RV-4FLC-1D1-S19에는 '소스' 와 '대상' 지점 사이의 웨이퍼를 전송하기 위해 동력 로봇 암 어셈블리가 장착되어 있습니다. 전동식 "로봇 '성분 은 수동적 인 개입 없이 정확 하고 자동화 된" 웨이퍼' 수송 을 가능 하게 하여 인건비 와 잠재적 인 오해 를 감소 시킨다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 통합 안전 시스템이 장착되어 있어 안전에 영향을 주지 않고 최대 32 대의 로봇과 액세서리를 모듈식으로 확장 할 수 있습니다. 독점적 인 원 클릭 프로그래밍 가능, 자동 로드 및 언로딩으로 생산성이 크게 향상됩니다. MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19는 모든 표준 프로세스 레시피와 호환되며, 다양한 프로덕션 라인에서 범용 구현이 가능합니다. RV-4FLC-1D1-S19는 일련의 통합 프로세스 장비 및 디지털 제어 시스템으로 구동됩니다. 통합 소프트웨어 프로그램 (Integrated Software Program) 을 사용하면 온도를 모니터링하고 조정하여 전송 중 웨이퍼에 열 스트레스를 방지할 수 있습니다. 고정밀 조작기 (High Precision Manipulator) 는 로봇 암 어셈블리에 통합되어 웨이퍼의 안전한 언로드 및 안전한 위치를 제공합니다. MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19에는 수송 시스템이 장착되어 공수 입자에 의한 오염으로부터 웨이퍼를 보호합니다. 이 시스템에는 "레이저 '와" 카메라' 를 포함한 다양한 광학 센서가 장착되어 결함을 감지하고 있다. 초음파 센서는 컨베이어 속도를 최대화하여 주기 시간을 최소화합니다. 레시피 선택에서 웨이퍼 전송에 이르는 프로세스는 안전하고 효율적으로 더 나은 정밀도를 보장합니다. RV-4FLC-1D1-S19는 다양한 반도체 제조 공정에서 높은 다양성과 신뢰성을 제공합니다. Smart Control 알고리즘을 사용하면 모든 Process Parameter를 추적하여 처리 시간을 단축하여 모든 Process Parameter를 완벽하게 감상할 수 있습니다. MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19에는 I/O 제어 및 시각적 피드백 시스템도 장착되어 있어 설치와 작동이 간편합니다. 전반적으로, RV-4FLC-1D1-S19는 반도체 웨이퍼 처리 프로세스를 단순화하고 자동화하도록 설계된 신뢰할 수있는 소형 웨이퍼 처리 시스템입니다.