판매용 중고 MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 #9205259
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ID: 9205259
Robot
With CR2 controller cable
(2) 2D-TZ378 Interface cards
R56TB Pendant teach panel.
MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 웨이퍼 핸들러는 RH12 웨이퍼 핸들러 및 소모품 제품군의 구성원으로, 웨이퍼 처리를 위해 안정적인 고속 성능을 제공합니다. 이 제품은 정확도가 높고 위험이 낮은 12 인치 또는 소형 웨이퍼를 관리하고 처리하도록 설계된 반자동 웨이퍼 로딩 머신입니다. RH12-SDH8535-S12는 정적 핸들러이며 효율적인 웨이퍼 처리를 가능하게 하는 2 개의 독립 팔레트가 장착되어 있습니다. 팔레트 중 하나가 웨이퍼 로딩에 사용되고, 다른 하나는 웨이퍼 언로딩에 사용됩니다. MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12에는 정확하고 오류 없는 처리를 보장하는 고급 WIC (Wafer Identification Code) 장비가 있습니다. WIC 시스템은 각 웨이퍼 (wafer) 에 내장된 고유한 코드를 통해 웨이퍼를 식별할 수 있으며, 기계가 팔레트 내의 웨이퍼 위치를 식별하도록 도와줍니다. RH12-SDH8535-S12에는 수동 작동 모드와 컴퓨터 작동 모드도 있습니다. 수동 작업 (Manual Operation) 모드에서 운영자는 웨이퍼 처리 프로세스의 상태를 수동으로 확인하고 확인할 수 있으며 처리 속도와 매개변수를 제어, 조정할 수도 있습니다. "컴퓨터 '화 된 작업 모드 에서 기계 는 연산자 와" 컨트롤러' ("파스칼 '언어 를 통하여) 가 동시 에 관리 할 수 있다. 컨트롤러는 이더넷 연결을 통해 원격으로 작동할 수도 있습니다. MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12에는 웨이퍼 로딩 및 언로드를 단순화하는 쉬운 액세스 카세트 스테이션이 장착되어 있습니다. 또한 올바른 처리를 위해 웨이퍼 지름을 자동으로 측정하는 웨이퍼 캘리퍼 장치 (wafer caliper unit) 가 특징입니다. RH12-SDH8535-S12에는 웨이퍼 처리 상태를 모니터링하고 기록하는 웨이퍼 추적 머신도 있습니다. 이 기계는 모듈식 (modular) 설계를 통해 다른 모듈식 (modular) 장치와 쉽게 연결하여 웨이퍼 핸들러에 추가 기능을 제공 할 수 있습니다. 또한 이더넷 연결 포트를 통해 웨이퍼 재확보 시스템, 산화, 증착, 사진 분석 및 에칭 시스템과 상호 연결 할 수 있습니다. 마지막으로 MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12에는 산업 운영 도구 (OS) 가 장착되어 있으며 SEMI E84/E122와 같은 대부분의 주요 웨이퍼 환경, 안전 및 보안 요구 사항을 지원합니다. 자체 제작한 소프트웨어로 간편한 모니터링, 진단, 보고 기능을 제공하며, 웨퍼 (wafer) 작업을 위한 안전하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다.
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