판매용 중고 MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 #9411584

ID: 9411584
빈티지: 2014
Robot 2014 vintage.
MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 Wafer Handler는 다양한 반도체 및 장치 생산 프로세스를 지원하도록 설계된 고급 전기 기계 및 화학 처리 장비입니다. 이 시스템은 1 밀에서 20 마일 사이의 최대 49 개의 웨이퍼 크기와 두께를 깨끗하고 반복적으로 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치는 시간당 최대 400 개의 웨이퍼를 운영 할 수 있습니다. CR751 의 핵심은 프로세스 자동화 및 프로그래밍 가능한 제어 (programmable control) 를 위한 전체 머신 아키텍처를 구성하는 통합 웨이퍼 (wafer) 핸들러입니다. 여기에는 메인프레임, 제어 도구, 고급 진동 제어 기술이 통합된 분산 제어 루프 (distributed control loop) 가 포함됩니다. 자산은 가장 까다롭고 민감한 프로세스 단계를 지원할 수 있습니다. 모델 자체는 5 개의 주요 구성 요소, 로더, 언로더, 웨이퍼 캐리어, 조작기 및 비전 장비로 구성됩니다. 로더에는 트윈 컨베이어 벨트 (twin conveyor belt) 드라이브 어셈블리가 포함되어 있어 웨이퍼를 어셈블리 라인을 따라 빠르고 쉽게 로드, 언로드 및 이동할 수 있습니다. 언로더는 로더와 디자인이 유사하며, 클리닝, 정렬 또는 연마 프로세스에서 빠르고 쉽게 웨이퍼 (wafer) 를 송수신하는 데 사용할 수 있습니다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 다양한 생산 단계를 통해 안전하게 웨이퍼를 수송 및 보호하도록 설계되었으며, 조작기 (manipulator) 는 로딩 벨트의 웨이퍼를 정확하게 정렬하여 정확한 로딩 및 언로드를 보장합니다. 비전시스템 (Vision System) 은 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 의 핵심 구성 요소로, 웨이퍼가 생산 라인을 통과할 때 정확한 위치를 제공합니다. 또한 처리 (processed) 된 웨이퍼의 품질을 모니터링하여 최고 품질의 표준을 충족시킵니다. CR751-04VD1-0-S19는 높은 정밀도, 반복 가능한 성능, 낮은 웨이퍼 손상이 보장되는 고급 기능을 갖춘 고도로 통합된 자동 웨이퍼 (automated wafer) 생산 장치입니다. 다양한 반도체 제조 환경에 이상적인 솔루션으로, 웨이퍼 (wafer) 생산을 위한 효율적이고 비용 효율적인 고품질 솔루션을 제공합니다.
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