판매용 중고 MGI SCS 9061-156 #9170548
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MGI SCS 9061-156 웨이퍼 핸들러는 다양한 반도체 애플리케이션에 사용되는 6 축, 6 블레이드 웨이퍼 처리 장비입니다. 완전한 호환성으로 300mm 및 200mm 미만의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 다용도, 신뢰성이 뛰어나며, 모듈식 설계를 통해 빠르고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리가 가능합니다. 6축 시스템은 다양한 구성으로 설치할 수 있는 작은 설치 공간을 제공하여 다양한 어플리케이션과의 호환성을 보장합니다 (영문). 6 블레이드 핸들러에는 향상된 웨이퍼 분리를 위한 3 개의 수평 및 3 개의 수직 블레이드가 포함되어 있으며, 처리량을 높이고 웨이퍼 처리 효율성을 향상시킵니다. 유연한 제어 소프트웨어를 사용하면 부드러운 동작 제어, 자동 웨이퍼 처리, 칩핑 (chipped) 및 흔들림 (wawling) 웨이퍼 제거 등의 웨이퍼를 정밀 조작할 수도 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 닫힌 루프 (closed-loop) 동작 제어 장치 (motion control unit) 가 장착되어 있어 웨이퍼의 정확한 이동과 위치를 파악할 수 있습니다. 또한 LAN (Local Area Network) 과 호환되며, 다양한 모니터링 시스템을 지원하고, 명령과 데이터의 통신을 허용하도록 설계되었습니다. 이로써 외부 시스템과의 호환성이 향상되고, 핸들러를 다양한 반도체 (semiconductor) 생산 시스템에 완벽하게 통합할 수 있습니다. 공구 보호를 위해 이중 영역, 다중 센서 안전 기계가 장착되어 있습니다. 또한 2 개의 독립 도어 스위치와 안전한 웨이퍼 처리를 위해 진공 제어 동적 속도 제어 (Dynamic Speed Control) 가 있습니다. 또한 오염 및 잔해를 최소화하는 먼지 필터가 포함됩니다. 이 웨이퍼 핸들러의 뛰어난 재료와 디자인도 최고의 안정성을 보장합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 작동 중 소음 및 진동 수준이 낮은 고속, 정확한 웨이퍼 처리 작업을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비의 고급 설계는 또한 빠른 웨이퍼 (wafer) 처리 주기와 반복 가능한 정밀 이동을 제공합니다. 또한 유지 보수가 적어 긴 서비스 수명과 함께 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 또한 여러 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이전 디자인과 하위 호환됩니다. 전반적으로 SCS 9061-156 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리 및 반도체 응용 프로그램을위한 안정성, 신뢰성, 신뢰성 및 견고한 자산입니다. 설치 공간 (small footprint) 및 고급 (advanced) 설계를 통해 다양한 시스템과의 호환성은 물론, 안정성이 뛰어난 결과를 제공하는 효율적인 웨이퍼 처리 작업을 제공합니다.
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