판매용 중고 MGI Phoenix #293811524

MGI 피닉스 (MGI Phoenix) 는 반도체 기반 웨이퍼 제품에 대한 초단면 표면 컨디셔닝 작업을 쉽게 처리하도록 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 정전식 결합 플라즈마 기술 (CCP) 을 사용하여 웨이퍼의 고유 한 초청결을 방해하지 않고 웨이퍼 표면을 조절합니다. 피닉스 (Phoenix) 는 수동 처리가 필요 없이 한 번에 최대 100 개의 웨이퍼를 처리할 수 있는 완전 자동 배치 처리 환경에 배치되도록 설계되었습니다. 이 장치는 로봇 암과 플라즈마 발전기 (plasma generator) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 로봇 암은 플라즈마 발전기 (plasma generator) 와 로봇 보유 스테이션 (robotics holding station) 사이에서 웨이퍼를 움직이는 데 사용됩니다. 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 는 내재성 초청을 방해하지 않고 웨이퍼 표면을 청소하고 조건화하는 특허받은 CCP 방법론을 사용하여 공중에서 충전 된 가스를 생성하는 데 사용됩니다. MGI 피닉스 (MGI Phoenix) 는 반도체 업계에서 고객의 구체적인 요구를 충족할 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 그것 은 광범위 한 "클리닝 프로파일 '을 제공 할 수 있으며, 여러 가지 기판 을 처리 할 수 있고, 여러 개 의" 웨이퍼' 를 동시 에 처리 할 수 있으며, 여러 가지 "클리닝 '응용 프로그램 을 위한 여러 가지" 가스' 를 생성 할 수 있다. 또한, 이 기계는 에너지 절약 게임 기술과 같은 고효율 기능도 갖추고 있습니다. Phoenix는 장애 발생률이 매우 낮은 높은 성능을 제공합니다. 고급 (Advanced) 기술은 운영 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 성능을 보장하는 반면, 자동화된 툴은 복잡한 수동 처리 (manual handling) 를 제거하고 프로세스 테스트 및 검증을 위해 매우 반복 가능한 조건을 보장합니다. 또한, 자산에는 운영자 (Operator) 와 환경 안전 (Environmental Safety) 을 보장하기 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. MGI 피닉스 (MGI Phoenix) 는 독점 CCP, 고급 소프트웨어, 공정 제어 기술 등 고급 기술을 활용하여 웨이퍼 표면 처리에서 최고 품질을 보장합니다. 따라서 프로세스 처리량 및 예측 가능한 결과를 극대화하여 제조 비용을 최소화할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 반도체 산업용으로 특별히 설계되었으며, 고도로 자동화된 생산 환경에서 사용하도록 최적화되었습니다. 전반적으로 Phoenix는 고급 웨이퍼 표면 청소 작업을위한 최고의 솔루션입니다. 첨단 기술, 광범위한 기능, 최소한의 수동 작업 (manual operation), 뛰어난 안전 (safety) 기능이 결합되어 반도체 업계에서 자동화된 처리 작업을 위한 최적의 선택이 됩니다. MGI 피닉스 (MGI Phoenix) 는 탁월한 성능과 반복성으로 반도체 제품 생산에서 최고의 품질을 보장합니다.