판매용 중고 MGI ET 2000 #293717530

MGI ET-2000은 MGI (Mitsubishi Gas Chemical Company Inc.) 가 300mm 웨이퍼 전송 및 취급을 위해 설계 및 제조 한 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 350mm 웨이퍼를 지원할 수 있으며, 최대 3 개의 카세트 또는 견인 트레이 및 2 개의 POD를 동시에 수용 할 수 있습니다. ET-2000 (ET-2000) 에는 매우 낮은 진동 플랫폼이 있어 웨이퍼가 손상되지 않고 처리되고 전송됩니다. 이 장비는 빠른 출입문 (quick-access door) 과 플랫 웨이퍼를위한 전용 트랜스퍼 컵 (transfer cup) 의 디자인으로 인해 사용 및 유지 보수가 더 쉽습니다. 시스템의 저진동 플랫폼에는 에어 베어링 (air bearing) 이 장착되어 있어 이동 및 수송 중에 웨이퍼가 여전히 유지됩니다. 저진동 디자인은 또한 외부 진동으로 인해 발생할 수있는 오류를 줄입니다. 더욱이, 이 장치에는 감독 제어 (supervisory control) 및 안전한 액세스 제어를 위한 독립 전면 패널 (front panel) 과 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 최적의 처리 유연성 (handling flexibility) 으로 설계되었으며, 3 개의 독립 축을 동시에 이동할 수 있습니다. 세 개의 독립 축을 사용하면 웨이퍼의 로드, 언로드 또는 전송을 최적화할 수 있습니다. 모든 축을 독립적으로 제어하여 빠르고, 정확하며, 안정적으로 작동할 수 있습니다. 전원 관리 측면에서 이 툴은 소프트웨어 관리형 fast start-up, variable speed control, power quality management 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 성능을 극대화하고 웨이퍼 품질을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 마지막으로, 에셋에는 멀티 존 (multi-zone) 배기 모델 (exhaust model) 이 내장되어 있어 웨이퍼의 온도가 낮게 유지되므로 사용자에게 안전한 작업 환경을 만들 수 있습니다. 전반적으로, MGI ET-2000은 속도, 정확도, 품질의 최적의 조합을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 및 전송 장비입니다. 저진동 플랫폼 (low-vbration platform) 과 추가 안전 (safety) 기능을 통해 웨이퍼의 효율적이고 정확하며 안전한 전송을 위한 안전하고 안정적인 방법을 제공합니다.