판매용 중고 MGI ET 1000 #9221426

제조사
MGI
모델
ET 1000
ID: 9221426
Wafer transfer H Bar.
MGI ET 1000 (MGI ET 1000) 은 웨이퍼 포드의 작고 정밀한 로드/언로드 및 이러한 웨이퍼를 처리 도구 안팎으로 전송하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 완전 자동화된 6축 로봇으로, 정지 (Stationary) 또는 동적 (Dynamic) 작동이 가능하며 최대 15 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 독립적 인 진공 공구 체인저 (vacuum tool changer) 와 프로그래밍 가능한 웨이퍼 좌표를 갖춘 6 축 터렛을 제공하여 전송 중 웨이퍼의 정확한 위치를 지정합니다. 이 도구는 380 (W) x 590 (D) x 305 (H) mm의 제한된 공간 내에서 작동합니다. 최대 이동 속도는 초당 250mm (250mm/sec) 로, 높은 처리량과 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. MGI ET1000에는 고도의 포지셔닝 정확성을 보장하는 고급 이미지 획득 시스템 (Advanced Image Acquisition System) 이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 안전 표준 (Safety Standard) 이 내장되어 있으며 주요 소프트웨어 패키지와 상호 작용하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 미세한 위치 조정 기능이있는 고정밀 포지셔너도 있습니다. 이 장치의 웨이퍼 처리 시스템은 진공 드리프트 인덱서 (vacuum drift indexer) 가 장착 된 2 개의 평행 선형 단계로 구성됩니다. 웨이퍼 포드 (wafer pod) 는 진공 드리프트 인덱서 (vacuum drift indexer) 에 직접 배치되며, 로봇 암은 요청에 따라 웨이퍼를 로드하거나 언로드하기 위해 필요한 움직임을 수행합니다. ET-1000은 사용자 안전과 편의를 염두에 두고 설계되었습니다. 자동 웨이퍼 감지 (Wafer Detection) 및 장애 처리 기능뿐만 아니라, 웨이퍼 정렬 및 충돌 탐지용 안전 스위치가 내장되어 있습니다. 또한 운영자 사고를 방지하기 위해 작업 사이트를 보호합니다. 슬림형 디자인은 불필요한 공간을 차지하지 않도록 합니다. 전반적으로, MGI ET-1000은 작고 안정적인 패키지에서 강력하고 정확한 성능을 제공하는 효과적인 웨이퍼 핸들러입니다.
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