판매용 중고 MGI EET1-0395D-X-U #9294204

MGI EET1-0395D-X-U 웨이퍼 핸들러는 모든 유형의 반도체 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 전송 장비입니다. EET1-0395D-X-U 는 스테이징 영역에서 처리 및 에칭 (etching) 으로 효율적인 웨이퍼 전송을 제공하여 프로세스 처리량을 최적화하도록 설계되었습니다. MGI 웨이퍼 핸들러는 3 가지 주요 구성 요소 (고정 베이스, 웨이퍼 핸들링 암 및 웨이퍼 운송 회전 회전 목마) 로 구성됩니다. 수송 회전 목마는 최대 32 개의 웨이퍼 (직경 200mm) 와 최대 100mm의 작은 웨이퍼 크기 (wafer size) 를 수용 할 수 있습니다. 회전 목마는 정확하고 정확한 움직임을 위해 내장 AC 서보 모터에 의해 구동됩니다. 전체 웨이퍼 핸들러는 8 "~ 12" 간격 모션 구성 중에서 선택할 수 있습니다. MGI EET1-0395D-X-U 웨이퍼 핸들러의 주요 기능은 웨이퍼 처리 암입니다. 팔은 웨이퍼 mishandle과 손상을 줄이기 위해 설계되었습니다. 다양한 크기와 모양의 여러 웨이퍼를 자동으로 선택 또는 배치 할 수있는 지속적인 자율 웨이퍼 처리 (autonomous wafer handling) 기능이 있습니다. 이 암에는 또한 통합 조명 시스템 (Integrated Lighting System) 과 비디오 뷰 (Video View) 가 포함되어 있어 웨이퍼 위치를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 특정 프로세스 요구사항에 대해 이상적인 시야각을 설정할 수 있도록 팔 (arm) 을 조정할 수 있습니다. 프로세스의 모든 영역에 대한 손쉬운 수송 및 액세스를 위해, 전체 장치는 유연한 수송 장치 (Flexible Transport Unit) 로 설계되었습니다. 여기에는 고정 베이스 및 회전 목마와 상호 연결된 자동 셔틀 머신이 포함됩니다. 이 전송 도구를 사용하면 웨이퍼 핸들러가 위치 사이를 빠르게 이동할 수 있으며, 외부 컨트롤러 또는 HMI (Human Machine Interface) 에서 제어할 수 있습니다. EET1-0395D-X-U 웨이퍼 핸들러에는 밀봉된 인클로저 및 E-Stop 버튼과 같은 CSA-UL 인증 안전 구성 요소가 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 완전한 유지 보수 및 안전 설명서가 제공됩니다. 이 설명서에서는 일상적인 유지 보수 및 안전한 사용에 대한 모든 설치 및 운영 요구 사항을 다룹니다. 전반적으로 MGI EET1-0395D-X-U 웨이퍼 핸들러는 최적의 성능 및 안전을 위해 설계된 신뢰할 수 있는 고정밀 웨이퍼 전송 자산입니다. 고급 기능과 유연한 전송 모델을 갖춘 EET1-0395D-X-U 는 모든 유형의 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 효율적이고 정확하게 처리하는 데 적합합니다.