판매용 중고 MGI EET #9116015
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ID: 9116015
웨이퍼 크기: 6"
Ergonomic wafer transfer system, 6"
Stepper motor
RS-232 interface port
Optional process turntable carrier.
MGI EET은 Material Handling Laboratory, Inc.에서 생산 한 이더넷 지원 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 제작 및 저장 실험실에서 마차를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. EET (EET) 는 다양한 제조 챔버 (Fabrication Chamber) 의 전송 중 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 웨이퍼 프로세스의 중요한 구성 요소입니다. MGI EET (MGI EET) 는 모든 생산 시설의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성된 모듈식 시스템입니다. 기본 모델에는 7 축 로봇 암, 3 축 회전 핸들러 및 통합 미니 ITX 컴퓨터가 제공됩니다. 이를 통해 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 프로덕션 설정에 따라 하나 또는 두 축의 웨이퍼를 이동하고 전송할 수 있습니다. EET에는 패스 스루 (pass-through) 기능도 있으며 별도의 공급 베이에서 이중 처리가 가능합니다. 로봇 기능과 함께 MGI EET에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 과열 보호, 과전압 보호, E-stop 버튼, 연동 보호 및 광학 이동 제한 센서가 포함됩니다. 또한, EET를 프로그래밍하여 챔버에서 이물질을 감지하거나 충돌을 방지할 수 있습니다. 충돌 (collision) 또는 기타 장애가 감지되면 장치가 자동으로 종료되고 "웨이퍼 '가 더 손상되지 않도록 합니다. 또한 MGI EET (Ethernet Connection) 기능을 통해 원격 액세스를 허용하고 웨이퍼 핸들러를 제어할 수 있습니다. 따라서 모든 위치나 웹 브라우저를 통해 EET 를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 이더넷 (Ethernet) 접속을 통해 사용자는 장치의 소프트웨어를 업데이트하여 성능을 지속적으로 유지할 수 있습니다. 전반적으로 MGI EET은 강력하고 안정적이며 효율적인 웨이퍼 처리기입니다. 사용자 정의 가능한 설계, 통합 컴퓨터, 다중 안전 (Multiple Safety) 기능 및 원격 액세스를 통해 다양한 운영 환경에서 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 최신 디자인과 기술을 통해 EET 는 모든 용도로 안전하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 전송을 보장합니다.
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