판매용 중고 MGI ACT-1003 V8 #9170549

MGI ACT-1003 V8은 연구 개발을 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 완전 자동화 된 트윈 축 간트리 유닛, 전동 웨이퍼 척 어셈블리 및 2 개의 높은 신뢰성 선형 스러 스터가 장착되어 있습니다. 기계 는 여러 가지 크기 와 두께 의 "웨이퍼 '를" 클리닝 룸' 환경 의 여러 가공 기계 로 옮기도록 설계 되었다. 트윈 축 간트리 (twin-axis gantry) 도구는 웨이퍼 척 (wafer chuck) 을 원하는 위치로 이동하여 정밀하게 넓은 영역을 스캔 할 수 있습니다. 이것은 최대 3000 mm/sec의 속도에 도달 할 수있는 높은 강도와 낮은 관성 서보 모터 (servomotor) 에 의해 지원됩니다. 또한, 간트리 에셋은 웨이퍼 동작의 정확성과 정확성을 향상시키기 위해 더블 가이드 레일 (double guide rail) 서보 제어 모델을 사용합니다. 장비의 전동 웨이퍼 척 어셈블리는 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 수용 할 수 있습니다. 파퍼 (wafer) 처리 및 위치 지정이 안전하고 정확한지 확인하기 위한 정밀 공압 클램핑 메커니즘이 포함되어 있습니다. 전동식 웨이퍼 척 디자인은 웨이퍼 정렬, 방향 및 위치를 지원합니다. 또한, 웨이퍼 처리 시스템에는 오류 감지 및 웨이퍼 검사에 사용되는 온보드 비전 (on-board vision) 장치가 있습니다. 두 개의 높은 안정성 선형 (linear thrusters) 은 웨이퍼를 처리할 때 안정적이고 견고하며 부드러운 동작을 제공합니다. 소형 크기와 내장형 공기 매니 폴드 (Air Manifold) 조립은 고성능, 대형 웨이퍼 처리 능력을 제공합니다. 이로 인해 처리량이 크게 향상되고 오염 위험이 줄어듭니다. ACT-1003 V8은 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계된 고성능 머신입니다. 다양한 Cleanroom 애플리케이션을 위한 혁신적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 또한, 더블 가이드 레일 서보 제어 도구 (double guide rail servo control tool) 및 온보드 비전 자산 (on-board vision asset) 과 같은 고급 기능은 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다.