판매용 중고 MECS UTX-1010 #9110989
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MECS UTX-1010 (MECS UTX-1010) 은 로봇 웨이퍼 핸들러로, 안전하고 효율적인 방식으로 많은 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 반자동 (semi-automated) 프로세스로, 환경 오염과 작업자의 피로를 최소화하면서 수작업 방법보다 더 큰 정확성과 처리량을 제공합니다. MECS UTX 1010은 메인프레임, 드라이브 베이스, 로봇 암 및 웨이퍼 전송 플랫폼으로 구성됩니다. 메인프레임 (Mainframe) 에는 웨이퍼 처리 프로세스를 완료하는 데 필요한 모든 운영 소프트웨어와 하드웨어가 포함됩니다. 드라이브 기반을 통해 UTX-1010은 모든 운영 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 로봇 암은 1000kg의 부하 용량으로 작동 할 수 있으며, 밀리미터 정확도로 6 축으로 움직일 수 있습니다. "웨이퍼 '수송" 플랫폼' 은 한 번 에 최대 25 개 의 "웨이퍼 '를 수용 할 수 있으며," 웨이퍼' 를 "로봇 '암 작업 구역 내 의 적절 한 위치 로 옮길 수 있다. UTX 1010에는 근로자의 안전을 높이기 위해 몇 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 과부하 시 레이저 인터 록 (laser interlock), 비상 정지 (emergency stop) 및 자동 차단 시스템이 포함됩니다. 작업자 안전을 더욱 보장하기 위해 MECS UTX-1010은 ESD 보호를 사용하여 웨이퍼를 처리 할 때 정적 충격을 방지합니다. 소프트웨어 기반 센서 (옵션) 시스템을 포함시켜 웨이퍼의 오염 가능성을 감지하고 보고할 수 있습니다. MECS UTX 1010 (MECS UTX 1010) 은 필요에 따라 로봇의 작동 및 작업 셀 구성을 사용자 정의할 수있는 매우 유연한 시스템입니다. 자동 인터페이스 (Automated Material Handling System), 운영 라인 데이터베이스 시스템 (Production Line Database System) 등 다른 시스템 및 장비에 연결하기 위한 자동 인터페이스가 특징입니다. 마지막으로 UTX-1010은 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있어 설치와 작동이 간편합니다. 원격 진단 (Remote Diagnostics) 및 문제 해결 기능도 포함되어 있어 운영 라인의 가동 시간을 극대화할 수 있습니다. UTX 1010은 모든 웨이퍼 처리 프로세스에 이상적인 선택입니다. 광범위한 기능, 유연성, 안전 구성요소 (Safety Component) 를 통해 환경 장애와 직원의 피로를 최소화하면서 정확성과 처리량을 높일 수 있습니다.
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