판매용 중고 MECS UTC-801P #9153846

MECS UTC-801P (Automated Wafer Handling) 장비는 반도체 산업의 생산 효율성을 향상시키기 위해 설계된 자동화된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 캐리어, 어셈블리, 스토리지 챔버 간에 웨퍼를 전송하는 안전하고 효과적인 방법을 제공합니다. MECS UTC801P는 사용자 친화적 인 Windows 유형 인터페이스와 완전히 통합 된 고급 로봇 암을 갖추고 있습니다. 이 "시스템 '은 신뢰성 이 있고 직관적 이도록 설계 되었으며, 따라서" 오퍼레이터' 는 기계 의 가장 중요 한 기능 에 쉽게 접근 할 수 있다. 로봇 암은 최대 740mm, 기동 속도 1.2m/s로, 유닛의 다른 지점 사이에서 빠르고 정확하게 움직일 수 있습니다. "로봇 '의 정밀도 도 조정 이 가능하여 모든" 프로그램' 에 최적 의 성능 을 제공 한다. "로봇 '은 크기 가 다른 최대 8 개 의" 웨이퍼' 를 병렬 로 처리 할 수 있으며 최대 합계 무게 는 130kg 이다. 또한 UTC 801P에는 웨이퍼를 정확하게 배치하기 위해 고정밀 비전 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구는 표준 200/300/400mm 카세트와 옵션 8 위치 기판 캐리어와 함께 제공됩니다. 이 기계는 또한 포괄적인 센서 세트와 다른 모니터링 시스템 (monitoring system) 과 통합되어 정밀한 프로세스 제어를 지원합니다. UTC-801P의 4 가지 조작기 헤드 (manipulator head) 는 저항성 프로브 (resistance probe) 및 기타 바이알 (vial) 과 같은 다양한 비 웨이퍼 구성 요소를 처리하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 운영자에게는 더 큰 다재다능성을 제공합니다. 이 자산은 모듈식 (modular) 방식으로도 운영의 쉽고 경제적인 확장성을 제공합니다. MECS UTC 801 P는 산업용으로 설계되었으며, 스테인레스 스틸 프레임은 먼지 및 습기에 대한 뛰어난 보호 기능을 제공합니다. 이 기계의 구성 요소는 신뢰성이 높으며, 하루 중 최대 75% 까지 연속적인 작업이 지원됩니다. 안전 (Safety) 규정을 완벽하게 준수하여 안전하고 효율적인 업무 환경을 보장합니다.