판매용 중고 MECS UTC-801P-Z #9153820

MECS UTC-801P-Z
ID: 9153820
Robot P/N: 212272.
MECS UTC-801P-Z 웨이퍼 핸들러 (MECS UTC-801P-Z Wafer Handler) 는 반도체 및 태양 광 전지 제조에서 웨이퍼 처리 작업을 위해 설계된 다축 정밀 동작 제어 플랫폼입니다. 직경 8 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 한 번에 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. UTC-801P-Z (UTC-801P-Z) 는 공차를 정확하게 측정하기 위해 기계적으로 밀링 된 중량 알루미늄 프레임으로 구성되어 있으며, 시장에서 가장 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러 중 하나입니다. 이 프레임은 또한 진동 감쇠 충격 (vibration dampening shock) 을 특징으로하여 웨이퍼를 이동할 때 진동 및 소음 수준을 줄입니다. MECS UTC-801P-Z는 인코더가 내장 된 강력하고 정밀한 MECS Zeppelin® 서보 모터에 의해 구동됩니다. Zeppelin® 모터는 최소한의 온도 상승과 낮은 소음 수준으로 부드럽고 조용한 작동을 제공합니다. 고급 모션 제어 기능으로 UTC-801P-Z는 직경 최대 8 인치, 두께 0.25 인치의 섬세한 웨이퍼를 위치 정확도 ± 0.01mm로 처리 할 수 있습니다. 또한 wafer 핸들러는 간단한 pick-and-place 작업, wafer put, thermocouple 작업 및 기타 wafer 처리 작업을 포함한 다양한 wafer 처리 명령을 지원합니다. 성공적인 웨이퍼 처리를 위해 MECS UTC-801P-Z는 완전히 통합 된 비전 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 Cognex® 라인 스캔 카메라를 사용하여 모든 웨이퍼에 대한 정확한 위치 정보를 제공합니다. 라인 스캔 카메라는 또한 각 웨이퍼를 처리할 때 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 과 위치 (position) 에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 또한, UTC-801P-Z는 우발적 인 웨이퍼 처리 사고를 방지하기 위해 완전한 안전 센서 및 인터 록 (interlock) 세트를 갖추고 있습니다. MECS UTC-801P-Z 는 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 웨이퍼 처리가 필요한 모든 시스템에 대해 완벽한 선택입니다. 최강의 완벽한 성능으로 섬세한 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있도록 설계되었으며, 통합 안전 (Safety) 기능과 고급 모션 제어 기능으로 가장 저렴하고 안정적인 웨이퍼 핸들러 중 하나입니다. UTC-801P-Z는 탁월한 정밀도, 안정성 및 안전 기능을 갖춘 반도체 및 PV 태양 전지 제조 분야에서 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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