판매용 중고 MECS UTC-800P #9097821

MECS UTC-800P는 반도체 공장에서 최대 8 인치 웨이퍼 전송에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 핸들러는 CVD, Etch, Diffusion, Spin-rinse-dry, Lithography, PVD 및 관련 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. MECS UTC 800 P는 시간당 최대 60 웨이퍼의 높은 처리량을 자랑하며, 정확하고 안정적인 전송 작업을 제공 할 수 있습니다. 테이블 톱 (table-top) 설계를 통해 기존 프로세스 장비와 깔끔하고 쉽게 통합할 수 있으며, 혁신적인 Wafer Handling 구성 요소 아키텍처를 통해 시간에 민감한 프로세스를 위한 고효율 운영을 보장할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 시스템 전체에서 웨이퍼 전송을 위해 질소 또는 깨끗한 공기 공급을 사용하는 '로드 락 (loadlock)' 장비가 있습니다. 이 장치 는 "트랜스퍼 챔버 '와 외부 환경 사이 의 공기 교환 을 감소 시켜, 청정실 분위기 를 효율적 으로 유지 할 수 있게 해 준다. UTC-800P는 8 인치 슬릿 카세트, 잡지 및 FOUP 카세트로 전면에서 로드됩니다. "핸들러 '는 각" 로봇' 암 의 위치 와 속도 를 조절 할 수 있으며, 위치 나 방향 이 잘못 된 "웨이퍼 '를 능동적 으로 거부 할 수 있다. 또한 잘못된 웨이퍼를 거부하는 보호판이 있습니다. 또한, 정확한 작동을 보장하기 위해 광학 및 하드 모션 위치 확인 기계가 장착되어 있습니다. 안전은 UTC 800 P 디자인의 핵심 기능입니다. 2 점 웨이퍼 안내 도구가 있으며 SEMI S2/FSE 표준을 따릅니다. 이 핸들러는 충돌 탐지 및 예방 기술, 견고한 프레임 구조, 안전한 작동을위한 강화 된 바디 (Supforced Body) 로 개발되었습니다. 또한 동적 웨이퍼 파손 방지, 동적 웨이퍼 코너 감지, 비상 정지 기능 및 동적 연동 자산 (Dynamic Interlock Asset) 이 특징입니다. MECS UTC-800P는 반도체 산업을위한 유능하고, 안정적이며, 매우 안전한 웨이퍼 핸들러입니다. 가장 까다로운 운영 환경에서도 정확한 전송 (transfer) 을 제공하도록 설계된 혁신적인 구성요소 (component) 와 엄격한 안전 표준 (strict safety standard) 을 통해 공장 공정에 완벽한 선택을 할 수 있습니다.