판매용 중고 MECS UTC-150 #9055581

Model MECS UTC-150 웨이퍼 핸들러는 반도체 처리를 위해 설계된 완전 자동화 된 정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 고성능, 정확성을 위해 설계된 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 장치는 각 이동을 계획하여 최대 처리량을 달성하고 웨이퍼 (Wafer) 전송을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 모델 UTC-150은 소형 크기, 경량 및 비용 효율적인 웨이퍼 처리 기계입니다. MECS UTC-150에는 2 대의 스토리지 자동차가 장착되어 있으며, 스토리지 자동차당 최대 10 개의 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 그것 은 "와퍼 '를 집어 넣고, 안전 하게 붙이고, 저장" 카아' 와 "로봇 '암 사이 에 정확 하게 움직 일 수 있는 충분 한 흡입력 을 제공 하는 통합 진공 발전기 에 의하여 구동 된다. "로봇 '암 에는 여러 개 의 관절 을 포함 하여 사방 으로 빠르고 정확 한 이동 을 할 수 있으며, 따라서 원하는 목표 로" 웨이퍼' 를 효율적 으로 옮길 수 있다. 이 도구는 최첨단 PLC 제어 에셋으로 설계되어 모델을 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. PLC 제어 장비는 최적화 된 웨이퍼 처리를 위해 사용자 정의 레시피를 사용하여 프로그래밍 할 수 있으며, 한 번에 최대 99 개의 레시피를 수용하고 저장할 수 있습니다. 또한, UTC-150은 다른 반도체 처리 장비와 통합되어 성능 및 효율성을 극대화할 수 있습니다. 자동 로드/언로드 (옵션) 기능은 로봇 암과 처리 장치 사이에 자동으로 웨이퍼를 전송하여 처리량을 증가시킵니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 제어, 감지 시스템, 클리닝 시스템 (cleaning system) 과 호환되며 실시간으로 웨이퍼 이동을 모니터링합니다. MECS UTC-150은 업계 표준 JEDEC 지침을 준수하도록 설계되었습니다. 설치/유지 보수가 용이하며, 전원 스위치 (Power Switch) 와 같은 다양한 안전 기능이 제공되어 시스템 및 센서에 대한 액세스를 제한하여 웨이퍼 (Wafer) 이동과 환경 상태를 모두 모니터링합니다. 이 장치는 포괄적인 보증 및 평생 기술 지원으로 백업됩니다.