판매용 중고 MECS UT0100 #9157918

MECS UT0100 은 자동화된 wafer fab 환경에서 24 시간 작동하도록 설계된 고성능 wafer 핸들러입니다. 이 장비는 다중 축 로봇, 조작 장비, 고유 알고리즘을 갖춘 고급 기술을 사용합니다. UT0100은 최대 4 개의 독립 워크스테이션을 제공하며, 각각 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. MECS 시스템은 다단계 프런트엔드 자동화 솔루션에 적합하며, 광범위한 유연한 솔루션을 제공합니다. 웨이퍼는 피치, 요 및 높은 정확도 서보 모터에 의해 정확하게 제어됩니다. 강력하고 안정적인 MECS UT0100 웨이퍼 핸들러는 높은 처리량과 일관성을 제공합니다. 자동 반복 (auto-repeat) 기능과 자동 정렬 기능을 통해 단일 프로세스와 다중 프로세스 처리 모두에 사용할 수 있습니다. 이 장치는 조작기 암 (arm) 드라이브 및 매개변수에 대한 고해상도 모니터링 및 제어를 제공합니다. 또한, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 내장 장애 감지 및 진단 기능이 있습니다. UT0100 머신에 사용되는 고급 다중 축 (Advanced Multi-Axis) 로봇은 효율성이 높으며 장거리 (Long Distance) 에서 짧은 주기 시간과 정확한 이동을 수행할 수 있습니다. 위치 (position) 와 정밀도 (precision motion) 에 대한 높은 감도로 로봇은 매우 작은 거리를 매우 정확하게 해결할 수 있습니다. 여기에는 여러 수준의 통신 프로토콜 지원이 있으며, 로봇 제어를 위해 50 개 이상의 소프트웨어 명령이 있습니다. 따라서 외부 컨트롤러에서 로봇을 프로그래밍 방식으로 작동시킬 수 있습니다. 또한 MECS UT0100 (MECS UT0100) 은 도구 안팎으로 웨이퍼를 로드하기위한 양도 암을 갖춘 2 단계 웨이퍼 핸들러입니다. 이를 통해 자산은 웨이퍼에 빠르게 액세스하고 강력한 처리 기능을 적용할 수 있습니다. 이 모델은 특히 고진공 시스템 (high-vacuum system) 용으로 설계되었으며, 다양한 센서를 장착하여 최적의 진공 제어 및 장비 상태 (health status) 를 제공합니다. UT0100은 작업을 최적화할 수 있는 다양한 친환경적이고 쉽게 구성할 수 있는 기능을 제공합니다. 고급 인코딩 (advanced encoding) 기능은 모든 축을 따라 정확한 제어를 제공하는 반면, 서보 모터가 있는 트윈 드라이브 (twin drive) 모듈은 매우 정밀하게 움직입니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 집중 테스트를 거쳤으며, 완전한 API 제품군으로 인증되어 로컬 (local) 또는 글로벌 (global) 생산 환경에 적합합니다.