판매용 중고 MANZ Z10 #9123461

MANZ Z10
제조사
MANZ
모델
Z10
ID: 9123461
빈티지: 2009
Wafer handler Compressed air 6 bar Filter capacity: ≤ 40 μm Consumption: 200 l / min Uninterruptible Power Supply (UPS) Emissions: Sound level in 1 m distance: ≤75 dB(A) Temperature area: +10 to +40 °C Humidity rating: 10% to 75 % Power supply: 400 V, 40 A, 50 Hz, 15 kVA 2009 vintage.
MANZ Z10은 완전 자동 웨이퍼 전송 및 취급 장비입니다. 청소실 환경에서 웨이퍼의 효율적이고 안정적인 운송을 가능하게하며, 직경 50mm ~ 150mm 사이의 대부분의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 입자 오염과 먼지 생성을 최소화하는 완전 밀폐 (fully closed) 된 설계를 가지고 있습니다. 이 연산자는 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하여 웨이퍼 처리 작업을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 로드 메커니즘을 사용하면 웨이퍼 카세트와 FOUP 모두 개별적으로 또는 동시에 처리할 수 있습니다. Z10 은 각 "웨이퍼 '에 결함 을 검사 할 수 있는 시력 장치 를 갖추고 있다. 입자, 긁힘, 브레이크 및 불균일 점을 감지 할 수 있습니다. 통합 결함 탐지기 (Integrated Defect Detection Machine) 는 매우 정확하여 크기가 9.2 마이크로미터까지 결함을 감지 할 수 있습니다. 보다 정확한 검사를 위해 확대된 버전의 제품을 표시할 수 있습니다. "웨이퍼 '처리 장비 는 제품 과의 인간 의 상호 작용 을 제거 하고, 오류 와 오염 의 가능성 을 감소 시키도록 설계 되었다. 다른 크기 사이의 웨이퍼가 있을 때 인식할 수 있고, 그에 따라 하중 헤드 (load head) 의 위치를 조정할 수 있습니다. 공구는 또한 웨이퍼 (wafer) 표면의 이물질을 식별하고 주변 웨이퍼 (wafer) 에 대한 잠재적 손상을 방지하면서 거부할 수 있습니다. MANZ Z10 은 수동 프로세스보다 최대 100 배 빠른 wafer 를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이는 고속 생산에 이상적이며, 웨이퍼 (Wafer) 전송 및 처리의 처리량을 크게 높일 수 있습니다. 진공 그립 (vacuum griping) 기술도 제품의 안전하고 정확한 전송을 위해 사용됩니다. 자산에는 가청 (audible) 경보 모델과 외부 연동 (interlock) 기능이 제공되므로 운영자는 기계를 자신있게 작동시킬 수 있습니다. 전반적으로, Z10은 정확성과 고속 웨이퍼 전송을 모두 제공하는 강력하고 안정적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 통합 결함 감지 시스템, 진공 그립 (vacuum griping) 기술 및 완전히 동봉 된 디자인은 입자가없는 처리와 최소 오염 또는 오류 가능성을 보장합니다. 이 장치는 사용하기 쉽기 때문에 고급 (High-End) 생산 및 연구 응용 프로그램 모두에 적합합니다.
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