판매용 중고 MANZ BELODEN ROLLENSTRECKE Z-AU-1009 #9124722
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MANZ BELODEN ROLLENSTRECKE Z-AU-1009는 다양한 웨이퍼 유형을 관리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러 머신입니다. 내구성이 뛰어나고, 안정적이며, 유연한 머신으로, 웨이퍼 처리 작업 중에 반복 가능한 정밀도와 프로세스 안정성을 보장합니다. 최대 웨이퍼 크기가 8.5 인치 (215mm) 인 경우 칩에서 WOW (Wafer-on-Wafer) 까지 광범위한 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 고급 머신 비전 (machine vision) 기술을 사용하여 웨이퍼 처리 품질에서 반복 가능한 정밀도와 정확도를 달성합니다. 이를 통해 웨이퍼 유형, 설계 형상, 기판 특성을 인식 할 수 있습니다. 또한, 작업 로드 및 언로드 전에 wafer 존재를 확인할 수 있습니다. Z-AU-1009에는 웨이퍼의 수평 및 수직 이동이 가능한 2 세트의 웨이퍼 전송 벨트가 장착되어 있습니다. 또한 2 개의 별개의 방향으로 웨이퍼를 쌓는 2 개의 선반이 있습니다. 이 시스템은 자동으로 다음 스테이션으로 웨이퍼를 이동하여 프로세스 시간을 대폭 최적화합니다. 정확한 스테핑 모터 (stepping motor) 이동을 통해 각 선반에 반복 가능하고 정확한 웨이퍼 배치를 제공합니다. 이 기계는 견고하고 부식성 스테인리스 스틸 외관을 사용하여 제작되었습니다. 일체형 팬 (fan) 과 송풍기 (blower) 를 통해 작동 중 강력한 냉각을 제공하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 장애 가능성을 더욱 줄일 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 컴포넌트 및 고정장치 (예: 기판 트레이, 큐) 를 첨부하여 주기 시간 (cycle time) 과 처리량을 늘릴 수 있습니다. 기계의 작동은 강력하고 직관적인 PLC 소프트웨어에 의해 제어됩니다. GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 복잡한 구성을 설정할 수 있고, 운영 중 단계와 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 모든 작업 중에 안전성을 보장하기 위해 각 장치에는 최신 SIL (Safety Integrity Level) 호환 프로그램이 장착되어 있습니다. "프로그램 '은 안전 하고 위험 이 없는 환경 을 보장 해 준다. 마지막으로, 모든 생산 프로세스는 회사의 품질 관리 프로토콜 (Quality Control Protocol) 에 의해 추적 가능하고 면밀히 모니터링되므로 최고의 순도 (Purity) 표준 및 제품 품질 보증을 보장합니다.
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