판매용 중고 MACTRONIX UKA-550 #293823812

MACTRONIX UKA-550 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 레벨 반도체 프로세싱의 효율성과 정확성을 향상시키기 위해 설계된 완전 자동화 된 장치입니다. 정밀한 로봇 암 (robotic arm) 과 웨이퍼 링 (wafering) 방법은 웨이퍼가 빠르고 손상되지 않고 적재되고 언로드됩니다. UKA-550은 최대 550mm 웨이퍼를 위해 설계되었으며, 총 웨이퍼 적재 용량은 최대 50 개입니다. 독립 웨이퍼링 및 픽업 기능이있는 고급 로봇 암을 사용하여 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 웨이퍼 링 프로세스는 정확도가 ± 1mm로 정확하고 반복 가능합니다. 처리기는 해당 분야의 다른 자동 생산 프로세스와 통합되도록 설계되었습니다. MACTRONIX UKA-550은 밀봉된 반도체 챔버 (sealed semiconductor chamber) 를 사용하는데, 이 챔버는 최고의 성능을 위해 저온으로 냉각됩니다. "로봇 '암 에는" 스테퍼 모우터' 가 장착 되어 있어서 "웨이퍼 '를 정확 하고 반복 하여 처리 할 수 있다. "로보틱 '암 은 외부 방사선 으로부터 보호 를 받고 서늘 한 상태 를 유지 하며," 웨이퍼' 가 정전기 손상 을 입지 않도록 한다. 안전을 위해, 로봇 암에는 차단 또는 충돌을 감지하는 자동 정지 센서 (Auto-Stop Sensor) 가 장착되어 있습니다. 웨이퍼는 온보드 SCSI 장비를 통해 처리되며, 이는 웨이퍼의 올바른 식별 및 전송을 보장합니다. 시스템은 액세스 제어 장치 (Access Control Unit) 와 바코드 스캐너 (Bar Code Scanner) 를 사용하여 빠르고 정확한 데이터를 식별합니다. UKA-550 은 다양한 고객 요구 사항을 충족하는 다양한 기능과 업그레이드 가능한 옵션을 제공합니다. 이 "샤워 '는 부가적 인 청소 를 위한 외부 공기" 샤워' 와 더 정확 한 "웨이퍼 '처리 를 위한" 클램핑 머신' 을 갖추고 있다. 이 제품은 정확한 웨이퍼 검사를 위한 비전 (vision) 툴이 내장되어 있으며, 추가 기능과 컨트롤러를 통합하도록 사용자 정의할 수 있습니다. MACTRONIX UKA-550 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 로봇 암 (robotic arm) 과 통합 컨트롤 (integrated control) 로 인해 사용 및 유지 관리가 용이하면서 정확하고 효율적인 웨이퍼링 및 처리를 제공하는 고급 장치입니다. 정밀 반도체 제품 제조에 이상적인 선택입니다.