판매용 중고 MACTRONIX SWR-600 #9188737

MACTRONIX SWR-600 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 산업에 사용되는 산업 등급, 자동화 된 정밀 플라즈마 처리 장비입니다. 이 시스템은 수평 배치용으로 설계되었으며, 최대 600mm 웨이퍼를 로드하도록 설계된 다중 웨이퍼 (Multiple Wafer) 전송 트레이와 함께 제공됩니다. 125mm, 200mm, 300mm 및 600mm를 포함한 다양한 크기와 유형의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 모든 금속 구조로 만들어졌으며 내구성을 위해 파우더가 코팅되었습니다. SWR-600 웨이퍼 핸들러 (SWR-600 wafer handler) 는 피보팅 웨이퍼 트레이를 특징으로하여 트레이를 회전시킬 필요없이 웨이퍼를 로드 또는 언로드할 수 있습니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 처리 할 때 정확 하고, 부드럽고, 신뢰 할 수 있도록 설계 되어 있어서, 공정 중 에 손상 되지 않도록 한다. 또한 프로그래밍 가능한 시퀀서 모듈 (Programmable Sequencer Module) 이 제공되며, 이를 통해 사용자는 웨이퍼의 정확한 위치와 정밀 처리를 위해 웨이퍼 트레이의 속도를 제어 할 수 있습니다. MACTRONIX SWR-600 웨이퍼 핸들러의 기능에는 프로세스가 완료되면 사용자에게 경고하는 통합 '프로세스 종료 (End-of-Process)' 표시등, 수동으로 설정할 수 있는 조정 가능한 웨이퍼 높이, 우발적 과잉 처리를 방지하는 기본 제공되는 '비상 정지' 스위치가 포함됩니다. 또한 다중 위치 진공 웨이퍼 (Vacuum wafer) 홀더 (holder) 를 통해 웨이퍼가 안전하게 고정되고 Vaccum Resume (Vaccum 재시작) 기능을 사용하여 긴급 정지 후 마지막 처리 레이어로 돌아갈 수 있습니다. 또한 동적 추적 시스템 (Dynamic tracking machine) 이 포함되어 있어 용지함 위치를 최적의 로딩을 위해 적절한 웨이퍼 크기로 정확하게 조정할 수 있습니다. SWR-600 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 를 사용하면 여러 웨이퍼 크기 사이를 쉽게 전환할 수 있으므로 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 자동 잠금 (Auto-Lock) 기능을 통해 사용자가 웨이퍼를 과도하게 처리하거나 손상하지 못하도록 할 수 있습니다. 게다가, 이 도구 는 극단적 인 온도 와 진동 을 견딜 수 있도록 설계 된 산업 등급 의 전기 자산 (electrical asset) 으로 구동 된다. 이러한 기능은 모두 결합하여 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 효과적이고 안정적인 메커니즘을 제공합니다.