판매용 중고 MACTRONIX Eureka UKA-825 #52725

MACTRONIX Eureka UKA-825 웨이퍼 핸들러는 최대 8 "직경의 반도체 웨이퍼를 정확하고 정확하게 처리 할 수있는 완전 자동화 된 장치입니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 다층" 트레이이' 나 FOUP 형태 의 자동 "카세트 '에 정확 하고 안전 하게 배치 한다. 이 핸들러는 Envirotech DPPM (Direct Drive Pick and Place Module) 을 사용하여 웨이퍼에 액세스하고 운송하여 조명 테스트, 화학 증기 증착 또는 화학 치료와 같은 엄격한 프로세스에 적용합니다. 유레카 UKA-825 (Eureka UKA-825) 의 정확한 모션 제어 장비는 뛰어난 반복성과 저관용 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 축 동작은 고정밀 브러시가없는 DC 서보 모터로 구동됩니다. 고급 ladar 감지 시스템 및 closed-loop 위치 피드백은 동적 반복성과 최대 프로세스 안전을 제공합니다. MACTRONIX Eureka UKA-825는 매우 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리에 최적화되었습니다. 관절식 "로봇 '암 에는 가장 깊은" 트레이' 와 자동화 된 "카세트 '에" 웨이퍼' 를 넣어 뽑을 수 있는 견고 한 "캔틸레버 '가 달려 있다. 여러 진공 픽업 메커니즘 및 블레이드 엣지 컨베이언스 액션은 처리 중 스크래치를 방지합니다. 유레카 UKA-825 (Eureka UKA-825) 는 모든 반도체 처리 제품군에 빠르고 쉽게 통합 할 수있는 소형 공간 절약형 공간으로 제작되었습니다. 매우 직관적인 웹 기반 GUI (Graphical User Interface) 는 실시간 프로세스 정보, 중요한 매개변수 검토 및 철저한 추적 기능을 제공합니다. 또한 GUI 는 사용자 지정 레시피를 개발하고 오류 복구 및 예방 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. MACTRONIX Eureka UKA-825는 매우 안정적이고 안전하도록 설계되었습니다. 전체 인클로저는 외부 오염 물질을 지키고 위험한 가스 아웃을 편향시킵니다. 많은 정교한 안전 메커니즘은 하드웨어 (예: 이중 잠금 안전 연동 장치, 비상 정지, 지점 간 전원 차단, 모터 과부하 방지, 결함 안전 표시등) 를 더욱 안전하게 보호합니다. 요컨대, Eureka UKA-825 웨이퍼 핸들러는 높은 정밀도, 반복성 및 안전성이 필요한 반도체 처리 응용 분야에 최적화된 차세대 웨이퍼 처리 기계입니다. 고급 기능, 견고한 구성, 향상된 프로세스 지속성 (Pustainability) 을 통해, 오늘날 시중에서 사용할 수 있는 최고 품질의 표준을 달성할 수 있습니다.